日立掃描電子顯微鏡（SU3800）沿用了已 經(jīng)經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的GU I界面。另外還搭 載了*的SEM  MAP, 而且相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)提供超大視野導(dǎo)航,，為操作人員提供更加貼心順暢的操作體驗(yàn),。

配備了多功能超大樣品倉(cāng)，可以搭載多種 配件,。而且也適用于直徑 20 0 m m {SU3 800 ),、可升級(jí)為直徑30 0 m m {SU 390 0)的大型樣品。

全更換樣品

通過(guò)更換樣品提示,，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品,。

自動(dòng)調(diào)整

通過(guò)自動(dòng)啟動(dòng)功能和自動(dòng)光軸調(diào)節(jié)功能， 可以快速觀察,。

廣角相機(jī)導(dǎo)航x

廣角相機(jī)導(dǎo)航覆蓋了大觀測(cè)區(qū)的整個(gè)區(qū)域,。

SEM MAP

您可以順利找到目標(biāo)觀察物。

分析解決方案

除了—體化集成 EDS 功能氣以外,，還可與其他設(shè)備和軟件聯(lián)用,。

Report Creator

可以將SEM /EDS/ SEM MAP 圖像統(tǒng)一任意布局，根據(jù)需求個(gè)性化輸出報(bào)告,。

超多選配項(xiàng)

標(biāo)配超大多功能樣品 倉(cāng),。可支持In -Si t u 分析,。

· 通過(guò)鼠標(biāo)操作,，可實(shí)現(xiàn)直觀的視野移動(dòng)

通過(guò)點(diǎn)擊或拖拽實(shí)時(shí)圖像上的任意位詈，即可移動(dòng)視野,?？扇Χ▽?shí)時(shí)圖像上的任一位置，被圈定的位置可移動(dòng)到視野中央并放大,。

· 簡(jiǎn)單操作,，如同觸屏般直觀

· 從移動(dòng)樣品臺(tái)到樣品觀察 ，輕輕點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可實(shí)現(xiàn),。

· 也可觸屏操作,。

· 主窗口為1,280x960 像素的大窗口。

· 可以切換顯示模式 ,，并且同時(shí)顯示／拍攝兩種不同的信號(hào),。

· 自動(dòng)軸距調(diào)整功能

光軸調(diào)整以及更換燈絲之后所需 實(shí)施的各種調(diào)整工作已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了 自動(dòng)化,。由此能夠抑制光軸和視野的偏差，從而再也無(wú)需依靠操作人員的技能如何,，都可以重現(xiàn)性較好地獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù),。

配備了電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng)的自動(dòng)調(diào)整功能。放入樣品并抽真空之后,，通過(guò)自動(dòng)啟動(dòng)功能可以實(shí)現(xiàn)圖像自動(dòng)調(diào)整,，并在電子束照射后立即獲取清晰的圖像。

高度自動(dòng)化功能采用全新設(shè)計(jì)的演算程序,，在執(zhí)行圖 像自動(dòng)調(diào)整功能時(shí),，等待時(shí)間縮短到以往的1/3以下。不需要繁瑣的畫像調(diào)整,，可輕松獲得高通量的圖像數(shù)據(jù),。

搭載Intel ligent Filament Technology(IFT)

· 自動(dòng)監(jiān)視燈絲的狀態(tài)，自動(dòng)控制,，使其一直處于合適的性能狀態(tài),。

· 搭載顯示燈絲更換時(shí)間的顯示屏 。

通過(guò)該功能,，使得原來(lái)難以對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)觀察以及數(shù)據(jù)分析等大范圍分析均可以安心實(shí)現(xiàn),。

擴(kuò)展了真空模式和檢測(cè)功能，以滿足多樣化的觀察需求,。除了可以安裝二次電子探測(cè)器,，以及在任何真空模式下都可操作的高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器之外，還可以安裝 UVD,?？梢垣@得樣品凹凸信息以及通過(guò)電子束照射產(chǎn)生的陰極熒光(CL信息）。

通過(guò)采用4分割+l單元的設(shè)計(jì),，對(duì)每個(gè)單元進(jìn)行計(jì)算,，無(wú)需傾斜樣品，即可獲得成分圖像,、3D圖像以及4方向凹凸圖像。探測(cè)器的設(shè)計(jì)十分精巧,，且靈敏度高,，實(shí)現(xiàn)了高分辨率和高信噪比 。

紅外CCD探測(cè)器是用于監(jiān)控樣品 倉(cāng)內(nèi)部的裝置,。通過(guò)使用紅外線攝像機(jī),，可以在觀察SEM圖像的同時(shí)監(jiān)視樣品倉(cāng)內(nèi)部情況。為了獲得更詳細(xì)的位置,，可放大CCD圖 像,，并且移動(dòng)觀察位置,。

Zigzag功能可以自動(dòng)獲取連續(xù)的視野。MultiZigzag 可以在樣品臺(tái)的多個(gè)區(qū)域設(shè)定Zigzag,在不同的視野中拍攝多張高倍率圖像,，并能夠使用Viewer功能來(lái)拼接拍攝的圖像從而創(chuàng)建大視野圖像,。

與GUI 聯(lián)合的SEM MAP實(shí)現(xiàn)了廣角相機(jī)導(dǎo)航米。 在SEM MAP上觀察目標(biāo)位置 ,，可以順利地移動(dòng)到位置上,。使用大視野相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)拍攝的圖像或外部圖像，通過(guò)自由放大或縮小圖像,，可以將大視野的彩色圖像切換到高倍率的SEM 圖像,。

相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)通過(guò)圖像拼接功能可以實(shí)現(xiàn)大視野的SEM MAP觀察。觀察區(qū)域127mm/直徑200mm , 并且可以與樣品臺(tái)R一起聯(lián)動(dòng),，移動(dòng)到大型樣品的大觀察區(qū)域,。

Hitachimap 3D可對(duì)SU3800的5分割背散射電子探測(cè)器當(dāng)中的 4個(gè)不同方向的SEM信號(hào)進(jìn)行演算分析 ，生成三維圖像,。支持2點(diǎn)間高度,、體積和簡(jiǎn)易 表面粗糙度（面粗糙度、線粗糙度）測(cè)量,?？梢淮涡越邮账膫€(gè)不同方向的信號(hào) ，因此,，無(wú)需傾斜樣品臺(tái)或合成圖像,。

日立掃描電子顯微鏡（SU3800）使用案例（電子產(chǎn)品）：