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能量色散X射線熒光光譜技術(shù)的原理和優(yōu)點(diǎn)分析
能量色散X射線熒光光譜（EDXRF）是一種快速,、無損,、多元素同時(shí)測(cè)定的現(xiàn)代測(cè)試分析技術(shù),，已廣泛應(yīng)用于材料科學(xué),、生物醫(yī)學(xué)、地質(zhì)研究,、環(huán)境監(jiān)測(cè),、天體物理、文物考古等諸多領(lǐng)域,。
能量色散X射線熒光光譜分析原理：
采用X射線作為樣品信號(hào)的激發(fā)源,，其產(chǎn)生原級(jí)X射線照射到樣品上，所產(chǎn)生的特征X射線（熒光）直接進(jìn)入固體探測(cè)器,。 然后用多道分析器對(duì)整個(gè)熒光光譜的能量信息進(jìn)行分析,，通過探測(cè)元素特征X射線并識(shí)別其能量，來判別被測(cè)樣品中所含元素,，即為X射線熒光光譜定性分析,。
而具有某種能量的X射線強(qiáng)度的大小，與被測(cè)樣品中能發(fā)射該能量的熒光X射線的元素含量有直接關(guān)系,，測(cè)量這些譜線的強(qiáng)度并處理計(jì)算,，就可以得出元素含量。即為X射線熒光光譜定量分析,。
采用X射線作為樣品信號(hào)的激發(fā)源,，其產(chǎn)生原級(jí)X射線照射到樣品上，所產(chǎn)生的特征X射線（熒光）直接進(jìn)入固體探測(cè)器,。
而具有某種能量的X射線強(qiáng)度的大小，與被測(cè)樣品中能發(fā)射該能量的熒光X射線的元素含量有直接關(guān)系,，測(cè)量這些譜線的強(qiáng)度并處理計(jì)算,，就可以得出元素含量。即為X射線熒光光譜定量分析,。
能量色散X射線熒光光譜具有如下優(yōu)點(diǎn)：
①儀器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,，省略了晶體的精密運(yùn)動(dòng)裝置，也無需精度調(diào)整,。還避免了晶體衍射所造成的強(qiáng)度損失,。光源使用的X-射線管功率低，一般在100W以下,，不需要昂貴的高壓發(fā)生器和冷卻系統(tǒng),，空氣冷卻即可，節(jié)省電力,。
②能量色散型熒光光譜儀的光源,、樣品、檢測(cè)器彼此靠得很近,，X-射線的利用率很高,，不需要光學(xué)聚集，在累積整個(gè)光譜時(shí),，對(duì)樣品位置變化不象波長(zhǎng)色散型熒光光譜儀那樣敏感,，對(duì)樣品形狀也無特殊要求。
③在能量色散型熒光光譜儀中,，樣品發(fā)出的全部特征X-射線光子同時(shí)進(jìn)入檢測(cè)器,，這就奠定了使用多道分析器和熒光屏同時(shí)累積和顯示全部能譜(包括背景)的基礎(chǔ)，也能清楚地表明背景和干擾線,。因此,，半導(dǎo)體檢測(cè)器X-射線光譜儀能比晶體X-射線光譜儀快而方便地完成定性分析工作,。
④能量色散法的一個(gè)附帶優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量整個(gè)分析線脈沖高度分布的積分程度，而不是峰頂強(qiáng)度,。因此,，減小了化學(xué)狀態(tài)引起的分析線波長(zhǎng)的漂移影響。由于同時(shí)累積還減小了儀器的漂移影響,，提高凈計(jì)數(shù)的統(tǒng)計(jì)精度,，可迅速而方便地用各種方法處理光譜。同時(shí)累積觀察和測(cè)量所有元素,，而不是按特定譜線分析特定元素,。因此，見笑了偶然錯(cuò)誤判斷某元素的可能性,。