1.激發(fā)光源

可用連續(xù)光源或銳線光源,。常用的連續(xù)光源是氙弧燈，常用的銳線光源是高強度空心陰極燈,、無極放電燈,、激光等。連續(xù)光源穩(wěn)定,，操作簡便,，壽命長，能用于多元素同時分析,，但檢出限較差,。銳線光源輻射強度高，穩(wěn)定,，可得到更好的檢出限,。

 

2.原子化器

原子熒光分析儀對原子化器的要求與原子吸收光譜儀基本相同,。

 

3.它的基本原理是運用蒸氣發(fā)生技術使還原劑（NaB H4或 KBH4）與酸性介質下的樣品的溶液發(fā)生化學反應，使之生成的共價氫化物元素 As,、Bi,、Ge、Pb,、Sb,、Se、Sn,、Te 等,、揮發(fā)性化合物元素 Cd 和 Zn、蒸氣態(tài) Hg 原子,，和在這個過程中產生的氫氣都經(jīng)載氣（Ar）通入到原子熒光光譜儀的原子化器中形成的氬氫火焰中進行原子化,，經(jīng)氬氫火焰離解成待測元素的原子，然后受到激發(fā)光源得特征光譜照射后,，受到激發(fā)到高能態(tài)后去激發(fā)再回到基態(tài)時發(fā)射出原子熒光,。
4.光學系統(tǒng)

光學系統(tǒng)的作用是充分利用激發(fā)光源的能量和接收有用的熒光信號,，減少和除去雜散光。色散系統(tǒng)對分辨能力要求不高,，但要求有較大的集光本領,，常用的色散元件是光柵。非色散型儀器的濾光器用來分離分析線和鄰近譜線,，降低背景,。非色散型儀器的優(yōu)點是照明立體角大，光譜通帶寬,，集光本領大,，熒光信號強度大，儀器結構簡單,，操作方便,。缺點是散射光的影響大。

 

5.檢測器

常用的是光電倍增管,，在多元素原子熒光分析儀中,，也用光導攝象管、析象管做檢測器。檢測器與激發(fā)光束成直角配置,，以避免激發(fā)光源對檢測原子熒光信號的影響,。