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硅片檢測(cè)顯微鏡

高精度粗微動(dòng)調(diào)焦機(jī)構(gòu)

采用底手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，左右側(cè)均可調(diào)節(jié),，微調(diào)精度高，手動(dòng)調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單方便,，用戶能夠輕松得到清晰舒適的圖像,。粗調(diào)行程為38mm，微調(diào)精度0.002,。

大尺寸機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)

采用180×155mm的大尺寸平臺(tái)，右手位設(shè)置,，符合常規(guī)人群操作習(xí)慣。用戶操作過(guò)程中,，便于調(diào)焦機(jī)構(gòu)與平臺(tái)移動(dòng)的操作切換,，為用戶提供更加高效的工作環(huán)境,。

落射柯拉照明系統(tǒng)

采用180×155mm的大尺寸平臺(tái)，右手位設(shè)置,，符合常規(guī)人群操作習(xí)慣。用戶操作過(guò)程中,，便于調(diào)焦機(jī)構(gòu)與平臺(tái)移動(dòng)的操作切換，為用戶提供更加高效的工作環(huán)境,。

硅片檢測(cè)顯微鏡參數(shù)

光學(xué)系統(tǒng)

有限遠(yuǎn)色差光學(xué)系統(tǒng)

觀察筒

45°傾斜，三目觀察筒,，瞳距調(diào)節(jié)范圍:54-75mm,，分光比：80:20

目鏡

高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/18mm,，可帶測(cè)微尺

高眼點(diǎn)大視野目鏡WF15X/13mm，可帶測(cè)微尺

高眼點(diǎn)大視野目鏡WF20X/10mm,，可帶測(cè)微尺

物鏡

長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡（5X、10X,、20X、50X ,、100X）

轉(zhuǎn)換器

內(nèi)定位四孔轉(zhuǎn)換器

內(nèi)定位五孔轉(zhuǎn)換器

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，粗動(dòng)每轉(zhuǎn)行程38 mm,；微調(diào)精度0.02mm

載物臺(tái)

三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),，面積180mmX155mm，右手低手位控制,，行程：75mm×40mm

落射照明系統(tǒng)

落射式柯拉照明系統(tǒng),，帶可變孔徑光欄和中心可調(diào)視場(chǎng)光欄,，自適應(yīng)寬電壓100V-240V,，單顆5W 暖色LED燈,，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)

落射式柯拉照明系統(tǒng),，帶可變孔徑光欄和中心可調(diào)視場(chǎng)光欄,，自適應(yīng)寬電壓100V-240V，6V30W鹵素?zé)?，光?qiáng)連續(xù)可調(diào)

攝影攝像

0.5X/1X攝像接筒，C型接口,，可調(diào)焦

其他

起偏鏡插板,，固定式檢偏鏡插板,，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板；濾色片組,；高精度測(cè)微尺