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ROHS檢測儀器EDX1800B產(chǎn)品介紹
技術(shù)指標(biāo)
分析元素范圍:從硫(S)到鈾(U)
同時檢測元素:*多24個元素,,多達(dá)五層鍍層
檢出限:可達(dá)2ppm,*薄可測試0.005μm
分析含量:一般為2ppm到99.9%
鍍層厚度:一般在50μm以內(nèi)(每種材料有所不同)重復(fù)性:可達(dá)0.1%
穩(wěn)定性:可達(dá)0.1%
SDD探測器:分辨率低至135eV
采用*的微孔準(zhǔn)直技術(shù),,*小孔徑達(dá)0.1mm,,*小光斑達(dá)0.1mm
樣品觀察:配備全景和局部兩個工業(yè)高清攝像頭
準(zhǔn)直器:0.3×0.05mm、Ф0.1mm,、Ф0.2mm與
Ф0.3mm四種準(zhǔn)直器組合
儀器尺寸:690(W)x 575(D)x 660(H)mm
樣品室尺寸:520(W)x 395(D)x150(H)mm
樣品臺尺寸:393(W)x 258 (D)mm
X/Y/Z平臺移動速度:額定速度200mm/s *速度333.3mm/s
X/Y/Z平臺重復(fù)定位精度 :小于0.1um
操作環(huán)境濕度:≤90%
操作環(huán)境溫度 15℃~30℃
應(yīng)用領(lǐng)域:
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