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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電氣 |
|---|
OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉(zhuǎn)CVD爐,。爐體有3個(gè)加熱區(qū),，可提高溫度均勻性，同時(shí)配有4通道的精密混氣系統(tǒng),。此款管式爐設(shè)計(jì)主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾,。
OTF-1200X-5L-R-CVD 1200℃旋轉(zhuǎn)CVD管式爐
| 性能指標(biāo)和基本配置 | |
|---|---|
| 爐膛結(jié)構(gòu) | ● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) ● 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層,，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命） ● 一個(gè)直流電機(jī)驅(qū)動爐管轉(zhuǎn)動,，轉(zhuǎn)速為可調(diào) ● 爐體開啟式設(shè)計(jì)，方便更換爐管 ● 爐體可以傾斜,，傾斜角度可調(diào) ● 設(shè)有開門斷電功能,提高實(shí)驗(yàn)安全性  |
| 基本參數(shù) | ● 溫度：1100℃（1200℃＜1h） ● 建議升溫速率：≤10℃/min ● 熱偶：K型熱偶 ● 電源：AC208-240,，50Hz 最大4KW ● 加熱區(qū)長度：600mm 三溫區(qū)：150mm+300mm+150mm |
| 爐管和法蘭 | ● 異型石英管，內(nèi)部焊接有揚(yáng)料板,，使粉體燒結(jié)更加充分和均勻 ● 尺寸：100 mm OD x 1200 mm L （異型管）  |
| 加熱元件 | ● 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,，可以極大程度延長使用壽命） |
| 溫控系統(tǒng) | ● 三個(gè)溫區(qū)分別有三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制 ● 包含一款YD518P型溫度控制器 ● PID自動控溫系統(tǒng) ● 智能化30段可編程控制 ● 控溫精度：±1℃ ● 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口 ● 通過MET認(rèn)證 ● 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)  |
| 爐體傾斜角度 | ● 可調(diào)范圍：-5° - 25° |
| 氣密配件 | ● 用磁流體法蘭密封 |
| 進(jìn)氣系統(tǒng) | ● 四通道精密氣體混合和輸送系統(tǒng)，配有觸摸屏,，用于1-4種氣體CVD ● 注意：如果通入的是易燃易爆型氣體，必須將設(shè)備安裝在通風(fēng)柜中  |
| 外形尺寸 | ● 1950mmL X 600mmW X 1320mmH ● 混氣系統(tǒng)：600mmL X 750mmW X 700mmH |
| 設(shè)備凈重 | ● 回轉(zhuǎn)爐：約130 Kg |
| 使用提示 | ● 此套設(shè)備可以配合本公司連續(xù)送料裝置來達(dá)到連續(xù)進(jìn)料的效果（圖一,、二） ● 對于CVD系統(tǒng),，您可以選擇我們的多通道進(jìn)氣系統(tǒng)（圖三） ● 在收集粉末時(shí)需要在密封容器中傳送的情況下，可以在我公司購買與爐管一起安裝的密封裝置,。這種裝置包括帶內(nèi)螺紋法蘭,、柔性波紋管、直角管,、帶有蝶形閥的容器和支撐架,。客戶可以很簡單的將帶有蝶閥的收集罐與設(shè)備斷開鏈接,，并在運(yùn)輸過程保持密封,。點(diǎn)擊下列圖片查看詳情（圖三）  |
| 真空系統(tǒng) | ● 通過機(jī)械泵可達(dá)到10E-2 Torr ● 通過分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr
● 可選購一個(gè)冷真空阱，以避免真空泵造成污染  |
| 質(zhì)保期 | ● 一年保修,，終身技術(shù)支持,。 ● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管,，樣品坩堝等不包含在內(nèi),。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi),。 |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | ● 所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證,。 |
| 使用注意事項(xiàng) | ● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),，氣瓶上必須安裝減壓閥,，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會更加精確安全 ● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) ● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃ ● 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥,，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂,，法蘭飛出等） |
OTF-1200X-5L-R-CVD 1200℃旋轉(zhuǎn)CVD管式爐
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