真空等離子清洗機(jī)由真空發(fā)生系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng),、等離子發(fā)生器,、真空腔體及相關(guān)機(jī)械等幾個部分構(gòu)成。是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果,。
清洗機(jī)利用兩個電極形成電磁場,,用真空泵實(shí)現(xiàn)有效的真空度,隨著氣體越來越稀薄,,分子之間的間距及分子或離子的自由運(yùn)動的距離也越來越長,,受磁場作用發(fā)生碰撞而形成等離子體并產(chǎn)生輝光。
等離子體在電磁場內(nèi)的空間運(yùn)動,,并不斷轟擊被處理物體表面,,去除表面油污以及表面氧化物、灰化表面有機(jī)物以及其它化學(xué)物質(zhì),,以此達(dá)到表面處理清洗和刻蝕的效果,。
真空等離子清洗機(jī)整個清洗過程大致如下:
1、首先將被清洗的工件送入真空機(jī)并加以固定,,啟動運(yùn)行裝置開始排氣,,讓真空腔內(nèi)的真空程度達(dá)到10Pa左右的標(biāo)準(zhǔn)真空度。一般排氣時間大約需要幾分鐘,。
2,、然后向真空室內(nèi)引入等離子清洗用的氣體,并保持腔內(nèi)壓強(qiáng)穩(wěn)定,。根據(jù)清洗材料的不同,,可分別使用氧氣、氬氣,、氫氣,、氮?dú)狻⑺姆嫉葰怏w,。
3,、在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體被擊穿并通過輝光放電而發(fā)生等離子化和產(chǎn)生等離子體,,讓在真空腔內(nèi)產(chǎn)生的等離子體籠罩住被處理的工件并開始清洗作業(yè),,一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾十分鐘不等,根據(jù)處理材質(zhì)的不同而定,。
4,、清洗完畢后切斷電源,并通過真空泵將氣體和氣化的污垢抽走排出,,清洗結(jié)束,。