真空離子清洗機(jī)由真空發(fā)生系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng),、等離子發(fā)生器,、真空腔休、機(jī)械等幾個(gè)部分夠成,，可以根據(jù)客戶的特殊要求定制符合客戶需要的真空系統(tǒng),，真空室。容易采用數(shù)控技術(shù),，自動(dòng)化程度高,；具有高精度的控制裝置，時(shí)間控制的精度很高,；正確的等離子體清洗不會(huì)在表面產(chǎn)生損傷層，表面質(zhì)量得到保證；由于是在真空中進(jìn)行,，不污染環(huán)境,，保證清洗表面不被二次污染,。
真空離子清洗機(jī)是氣體分子在真空、放電等特殊場(chǎng)合下產(chǎn)生的物質(zhì),，等離子清洗/刻蝕產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置,。廣泛應(yīng)用于表面去油及清洗等離子刻蝕，聚四氟（PTFE）及聚四氟混合物的刻蝕,、塑料,、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗,、等離子涂鍍聚合等工序,，因此又應(yīng)用于汽車電子領(lǐng)域、軍工電子領(lǐng)域,、PCB制成行業(yè)等高精密度領(lǐng)域,。
真空離子清洗機(jī)真空等離子清洗機(jī)兩個(gè)電極形成電磁場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,，隨著氣體越來(lái)越稀薄,，分子間距及分子或郭的自由運(yùn)動(dòng)距離也越來(lái)越長(zhǎng)，受磁場(chǎng)作用,，發(fā)生碰撞而形成等離子體,，同時(shí)會(huì)發(fā)生輝光，等離子體在電磁場(chǎng)內(nèi)空間運(yùn)動(dòng),，并轟擊被處理物體表面,，達(dá)到去除表面油污以及表面氧化物，灰化表面有機(jī)物,，以及其它化學(xué)物質(zhì),，從而達(dá)到表面處理、清洗和刻蝕效果,，經(jīng)過(guò)等離子處理工藝可以實(shí)現(xiàn)有選擇的表面改性,。
真空等離子清洗機(jī)工作過(guò)程：
真空等離子清洗機(jī)包括一個(gè)反應(yīng)腔室、電源和真空泵組,。樣品放置反應(yīng)腔室內(nèi),，真空泵開始抽氣至一定的真空度，電源啟動(dòng)便產(chǎn)生等離子體,，然后氣體通入到反應(yīng)腔室,，使腔室中的等離子體變成反應(yīng)等離子體，這些等離子體與樣品表面發(fā)生反應(yīng),，生產(chǎn)可揮發(fā)的副產(chǎn)物,，并由真空泵抽出。
真空型等離子清洗機(jī)就沒(méi)那么復(fù)雜,，按電源頻率劃分,，40KHz和13.56MHz為例：通常情況下材料放入腔體內(nèi)工作,，頻率為40KHz一般溫度為65°以下，再者機(jī)器內(nèi)部裝有強(qiáng)冷風(fēng)扇,，處理時(shí)間不長(zhǎng)的話,，材料表面溫度都會(huì)跟室溫一致。頻率為13.56MHz的就會(huì)更低,，通常情況是30°以下,。所以處理一些受熱易發(fā)生形變的材料，低溫真空型等離子清洗機(jī)的是在再適合不過(guò)的了,。真空等離子清洗機(jī)在工作中,，腔體內(nèi)部的離子是不定向的，只要材料在腔體裸露出的部分,，不管是哪個(gè)面哪個(gè)角落都可以洗得到,。
