FE-SEM獲得的圖像分辨率高,，信息豐富,，樣品處理相對簡單,，并且它可以觀察,、測量并分析樣品的細(xì)微結(jié)構(gòu),，因此被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù),、半導(dǎo)體,、電子器件,、生命科學(xué),、材料等領(lǐng)域。近年來,，以Materials Integration為代表,，其應(yīng)用領(lǐng)域及用途在不斷擴展,，短時間內(nèi)獲取大量數(shù)據(jù),，減輕作業(yè)負(fù)荷成為市場的一大需求,。

為滿足這一需求,，此次特推出的日立冷場發(fā)射掃描電鏡SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長時間穩(wěn)定運行的冷場成像技術(shù),，同時還大大提升了高通量、自動數(shù)據(jù)獲取能力,。

 

在細(xì)微結(jié)構(gòu)分析中,，日立冷場發(fā)射掃描電鏡SU8600可以實現(xiàn)低加速電壓觀察，對高分子等易受電子束照射影響的材料進行高分辨觀察,。該系列產(chǎn)品的特點如下：

1．支持自動獲取數(shù)據(jù)

在FE-SEM的觀察和分析中,，需要根據(jù)測量樣品與需求調(diào)整觀察條件。調(diào)整所需時間的長短取決于用戶的操作熟練度,，這是造成數(shù)據(jù)質(zhì)量與效率差異的因素之一,。此系列產(chǎn)品標(biāo)配自動調(diào)整功能，可避免人為操作導(dǎo)致的差異,。

此外,，隨著儀器性能的提升,，需要獲取的數(shù)據(jù)種類與數(shù)量也在增加,，手動獲取各種大量數(shù)據(jù)會大大增加用戶的作業(yè)負(fù)擔(dān),。此系列產(chǎn)品可選配“EM Flow Creator",，用戶可根據(jù)自身需求設(shè)定條件，自動獲取數(shù)據(jù),，這對于未來通過獲取大量數(shù)據(jù)實現(xiàn)數(shù)據(jù)驅(qū)動開發(fā)起到重要作用,。

2．增加獲取信息的種類與數(shù)量

通過SEM能夠收集到多種信號，且此系列產(chǎn)品最多可以同時顯示和存儲6個檢測器的信號。在減少圖像獲取次數(shù)的同時能夠獲取多種信息,。

此外,，為一次性獲取大量信息,，像素擴展到了40,960 x 30,720（選配），是之前型號的64倍,。利用這一功能，可憑借一張數(shù)據(jù)圖像有效評估多處局部的細(xì)微結(jié)構(gòu),。

3．增強信號檢測能力

SU8600開發(fā)了多個新型選配檢測器，加強了對凹凸信息,、發(fā)光信息的檢測能力,。此外，還提高了背散射電子信號檢測的響應(yīng)速度,。