FE-SEM獲得的圖像分辨率高,，信息豐富，樣品處理相對(duì)簡(jiǎn)單,，并且它可以觀察、測(cè)量并分析樣品的細(xì)微結(jié)構(gòu)，因此被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù),、半導(dǎo)體、電子器件,、生命科學(xué),、材料等領(lǐng)域。

近年來(lái),，以Materials Integration為代表,，其應(yīng)用領(lǐng)域及用途在不斷擴(kuò)展，短時(shí)間內(nèi)獲取大量數(shù)據(jù),，減輕作業(yè)負(fù)荷成為市場(chǎng)的一大需求,。為滿(mǎn)足這一需求，此次特推出的SU8700作為一款面向新時(shí)代的SEM,，在日立電鏡貫有的高圖像質(zhì)量和高穩(wěn)定性的基礎(chǔ)上,，增加了包括自動(dòng)獲取數(shù)據(jù)等高通量的功能。

SU8700可配置各種分析附件,，適用于從低加速觀察到高束流的EBSD分析,，支持陶瓷、金屬等不同材料的解析,。該系列產(chǎn)品的特點(diǎn)如下：

1．支持自動(dòng)獲取數(shù)據(jù)

在FE-SEM的觀察和分析中,，需要根據(jù)測(cè)量樣品與需求調(diào)整觀察條件。調(diào)整所需時(shí)間的長(zhǎng)短取決于用戶(hù)的操作熟練度,，這是造成數(shù)據(jù)質(zhì)量與效率差異的因素之一,。此系列產(chǎn)品標(biāo)配自動(dòng)調(diào)整功能，可避免人為操作導(dǎo)致的差異,。

此外,，隨著儀器性能的提升，需要獲取的數(shù)據(jù)種類(lèi)與數(shù)量也在增加,，手動(dòng)獲取各種大量數(shù)據(jù)會(huì)大大增加用戶(hù)的作業(yè)負(fù)擔(dān),。此系列產(chǎn)品可選配“EM Flow Creator"，用戶(hù)可根據(jù)自身需求設(shè)定條件，自動(dòng)獲取數(shù)據(jù),，這對(duì)于未來(lái)通過(guò)獲取大量數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)開(kāi)發(fā)起到重要作用,。

2．增加獲取信息的種類(lèi)與數(shù)量

通過(guò)SEM能夠收集到多種信號(hào)，且此系列產(chǎn)品最多可以同時(shí)顯示和存儲(chǔ)6個(gè)檢測(cè)器的信號(hào),。在減少圖像獲取次數(shù)的同時(shí)能夠獲取多種信息,。

此外，為一次性獲取大量信息,，單次掃描像素?cái)U(kuò)展到了40,960 x 30,720（選配）,，是之前型號(hào)的64倍。利用這一功能,，可憑借一張數(shù)據(jù)圖像有效評(píng)估多處局部的細(xì)微結(jié)構(gòu),。

3．增強(qiáng)信號(hào)檢測(cè)能力

SU8700的樣品倉(cāng)設(shè)計(jì)巧妙，可使用短工作距離進(jìn)行EDS分析,，通過(guò)提高EDS分析的空間分辨率,，能夠?qū)崿F(xiàn)更微小部位的分析。