FE-SEM獲得的圖像分辨率高，信息豐富,，樣品處理相對(duì)簡(jiǎn)單,，并且它可以觀察,、測(cè)量并分析樣品的細(xì)微結(jié)構(gòu),，因此被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù),、半導(dǎo)體,、電子器件,、生命科學(xué)、材料等領(lǐng)域,。

近年來,，以Materials Integration為代表，其應(yīng)用領(lǐng)域及用途在不斷擴(kuò)展,，短時(shí)間內(nèi)獲取大量數(shù)據(jù),，減輕作業(yè)負(fù)荷成為市場(chǎng)的一大需求。為滿足這一需求,，此次特推出的SU8700作為一款面向新時(shí)代的SEM,，在日立電鏡貫有的高圖像質(zhì)量和高穩(wěn)定性的基礎(chǔ)上，增加了包括自動(dòng)獲取數(shù)據(jù)等高通量的功能,。

SU8700可配置各種分析附件,，適用于從低加速觀察到高束流的EBSD分析，支持陶瓷,、金屬等不同材料的解析,。該系列產(chǎn)品的特點(diǎn)如下：

1．支持自動(dòng)獲取數(shù)據(jù)

在FE-SEM的觀察和分析中，需要根據(jù)測(cè)量樣品與需求調(diào)整觀察條件,。調(diào)整所需時(shí)間的長(zhǎng)短取決于用戶的操作熟練度,，這是造成數(shù)據(jù)質(zhì)量與效率差異的因素之一。此系列產(chǎn)品標(biāo)配自動(dòng)調(diào)整功能,，可避免人為操作導(dǎo)致的差異,。

此外，隨著儀器性能的提升,，需要獲取的數(shù)據(jù)種類與數(shù)量也在增加,，手動(dòng)獲取各種大量數(shù)據(jù)會(huì)大大增加用戶的作業(yè)負(fù)擔(dān),。此系列產(chǎn)品可選配“EM Flow Creator"，用戶可根據(jù)自身需求設(shè)定條件,，自動(dòng)獲取數(shù)據(jù),，這對(duì)于未來通過獲取大量數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)開發(fā)起到重要作用。

2．增加獲取信息的種類與數(shù)量

通過SEM能夠收集到多種信號(hào),，且此系列產(chǎn)品最多可以同時(shí)顯示和存儲(chǔ)6個(gè)檢測(cè)器的信號(hào)。在減少圖像獲取次數(shù)的同時(shí)能夠獲取多種信息,。

此外,，為一次性獲取大量信息，單次掃描像素?cái)U(kuò)展到了40,960 x 30,720（選配）,，是之前型號(hào)的64倍,。利用這一功能，可憑借一張數(shù)據(jù)圖像有效評(píng)估多處局部的細(xì)微結(jié)構(gòu),。

3．增強(qiáng)信號(hào)檢測(cè)能力

SU8700的樣品倉(cāng)設(shè)計(jì)巧妙,，可使用短工作距離進(jìn)行EDS分析，通過提高EDS分析的空間分辨率,，能夠?qū)崿F(xiàn)更微小部位的分析,。