以前我們要根據(jù)不同的觀察信號來調(diào)整樣品與透鏡之間的距離（工作距離／以下簡稱WD），以獲得最佳的觀察與分析條件,，而SU7000通過新研發(fā)的樣品倉以及檢測器系統(tǒng),，可在同樣的WD的條件下更高效地接收各種信號，縮短了樣品觀察和分析的時間,，提高了測試效率,。　

而且,，日立SU7000熱場發(fā)射掃描電鏡還配置了可同時6通道顯示界面（前代機型只能同時顯示4通道）,，進一步升級電鏡控制系統(tǒng)，大幅提高了信號獲取速度,，由此實現(xiàn)了樣品的高效率觀察,。它還標(biāo)配超大樣品倉，增設(shè)了附件接口,，可適用于各種樣品的觀察與分析。

日立SU7000熱場發(fā)射掃描電鏡主要特點：

在相同的WD條件下,，可同時實現(xiàn)二次電子，背散射電子觀察與X射線能譜分析,。

可同時實現(xiàn)6通道檢測與顯示,；

成像分辨率最大可達10240x7680像素；

配置18個附件接口,，支持低至300Pa的低真空模式觀察,；（選配）