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單晶硅圓片上的痕量有機物分析
閱讀:603 發(fā)布時間:2019-8-7與單晶硅圓片接觸的空氣中含有從周邊材料,器械以及人身上散發(fā)出來的有機物,。本例中,,我們把一個8英寸的單晶硅圓片緊貼在晶圓加熱板上,然后收集單晶硅圓片表面散發(fā)出來的揮發(fā)性氣體,,用島津氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀(GC-MS)進行分析,。
塑料部件上產(chǎn)生了C12 (1-Dodecene), cyclic dimethylsiloxane (n=6), 和dicarboxylic acid ester。
氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀
加熱單晶硅圓片時,,通過測定外圍氣體中的有機物譜圖,,可以鑒定圓片上附著的有機物質(zhì),。取樣是通過一個外部氣體收集器完成的,。本系統(tǒng)可做到ng級的定量。