- 極托儀器感應(yīng)區(qū)熔爐及藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐設(shè)備簡(jiǎn)介
感應(yīng)區(qū)熔及晶體生長(zhǎng)裝置主要包含兩種功能,,一種用于材料的熔化提純,一種用于材料的定向凝固,。
二,、主要技術(shù)參數(shù):
1、*高溫度:1650℃
2,、線圈升降行程:150毫米,,采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),升降速度可調(diào)節(jié),,分為快速和慢速
3,、坩堝升降行程:150毫米,采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),,升降速度可調(diào)節(jié),,分為快速和慢速
4、石墨坩堝尺寸:φ40*60㎜
5,、感應(yīng)電源振蕩功率:15KW,電源電壓380V
- 采用鎢錸熱偶監(jiān)測(cè)溫度,,通過電流調(diào)節(jié)溫度
- 可抽真空與充保護(hù)氣氛
- 極托儀器感應(yīng)區(qū)熔爐及藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)介
感應(yīng)區(qū)熔及晶體生長(zhǎng)裝置主要由感應(yīng)加熱裝置,,坩堝及保溫裝置、密封石英管裝置,、區(qū)熔裝置,、定向凝固裝置、真空裝置,、保護(hù)氣氛裝置,、測(cè)溫裝置、支架及操作臺(tái)裝置與可視化控制系統(tǒng)組成,。
- 感應(yīng)加熱裝置:由一臺(tái)振蕩功率15kW,,振蕩頻率30-80kHZ的高頻電源提供感應(yīng)加熱
- 坩堝及保溫裝置:由一只石墨坩堝,一種石英陶瓷保溫套,、氮化硼保溫底座和保溫蓋組成,,保證傳輸?shù)绞⒐艿臏囟鹊陀?/span>800℃;保溫蓋開有觀察孔,可觀察到熔液狀態(tài),。
- 密封石英管裝置:由一根石英管,,兩套密封法蘭組成,采用硅膠密封圈密封,,局部帶水冷,,密封法蘭上帶各種接口,方便其他裝置接入,。
- 區(qū)熔裝置:由伺服電機(jī),、減速機(jī)、線性模組和連接塊組成,,帶動(dòng)線圈沿著石英管上下移動(dòng),,速度可調(diào)節(jié),實(shí)現(xiàn)區(qū)熔目的,。
- 定向凝固裝置:從石英管底部密封法蘭處引入,,帶動(dòng)密封結(jié)構(gòu),留有熱偶接口,,由步進(jìn)電機(jī),、減速機(jī)、線性模組和連接塊帶動(dòng)坩堝實(shí)現(xiàn)上下升降目的,,實(shí)現(xiàn)定向凝固功能,。
- 保護(hù)氣氛裝置:石英管底部密封法蘭留有充氣接口,帶閥門和進(jìn)氣接口,,石英管頂部密封法蘭留有出氣接口與閥門,,并裝有安全閥,防止氣壓過高損壞元件
- 測(cè)溫裝置:從定向凝固移動(dòng)管中接入,,可直接跟石墨坩堝接觸,,測(cè)量石墨坩堝溫度,并能根據(jù)溫度手動(dòng)調(diào)節(jié)高頻電源的輸出功率,。
- 支架及操作臺(tái)裝置:采用型材與板材拼接而成,,人性化設(shè)計(jì),操作方便,,占地空間小,。
- 可視化控制系統(tǒng):采用PLC+觸摸屏控制整套系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)可視化操作,,操作直觀方便,。還可實(shí)時(shí)記錄各種實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)并下載到PC端,方便用戶調(diào)整工藝數(shù)據(jù),。