• 感應(yīng)區(qū)熔及晶體生長裝置 MTQZ-15-60  真空爐設(shè)備簡介

感應(yīng)區(qū)熔及晶體生長裝置主要包含兩種功能，一種用于材料的熔化提純,，一種用于材料的定向凝固,。
二、主要技術(shù)參數(shù)：
1,、*高溫度：1650℃
2,、線圈升降行程：150毫米，采用伺服電機驅(qū)動,，升降速度可調(diào)節(jié),，分為快速和慢速
3、坩堝升降行程：150毫米,，采用伺服電機驅(qū)動,，升降速度可調(diào)節(jié)，分為快速和慢速
4、石墨坩堝尺寸：φ40*60㎜
5,、感應(yīng)電源振蕩功率：15KW,，電源電壓380V

1. 采用鎢錸熱偶監(jiān)測溫度，通過電流調(diào)節(jié)溫度
2. 可抽真空與充保護氣氛

• 感應(yīng)區(qū)熔及晶體生長裝置 MTQZ-15-60  真空爐結(jié)構(gòu)簡介

感應(yīng)區(qū)熔及晶體生長裝置主要由感應(yīng)加熱裝置,，坩堝及保溫裝置,、密封石英管裝置、區(qū)熔裝置,、定向凝固裝置,、真空裝置、保護氣氛裝置,、測溫裝置,、支架及操作臺裝置與可視化控制系統(tǒng)組成。

1. 感應(yīng)加熱裝置：由一臺振蕩功率15kW,，振蕩頻率30-80kHZ的高頻電源提供感應(yīng)加熱
2. 坩堝及保溫裝置：由一只石墨坩堝,，一種石英陶瓷保溫套、氮化硼保溫底座和保溫蓋組成,，保證傳輸?shù)绞⒐艿臏囟鹊陀?/span>800℃,；保溫蓋開有觀察孔，可觀察到熔液狀態(tài),。
3. 密封石英管裝置：由一根石英管,，兩套密封法蘭組成，采用硅膠密封圈密封,，局部帶水冷,，密封法蘭上帶各種接口，方便其他裝置接入,。
4. 區(qū)熔裝置：由伺服電機,、減速機、線性模組和連接塊組成,，帶動線圈沿著石英管上下移動,，速度可調(diào)節(jié)，實現(xiàn)區(qū)熔目的,。
5. 定向凝固裝置：從石英管底部密封法蘭處引入,，帶動密封結(jié)構(gòu)，留有熱偶接口,，由步進電機,、減速機、線性模組和連接塊帶動坩堝實現(xiàn)上下升降目的,，實現(xiàn)定向凝固功能,。
6. 保護氣氛裝置：石英管底部密封法蘭留有充氣接口，帶閥門和進氣接口，石英管頂部密封法蘭留有出氣接口與閥門,，并裝有安全閥,，防止氣壓過高損壞元件
7. 測溫裝置：從定向凝固移動管中接入，可直接跟石墨坩堝接觸,，測量石墨坩堝溫度,，并能根據(jù)溫度手動調(diào)節(jié)高頻電源的輸出功率。
8. 支架及操作臺裝置：采用型材與板材拼接而成,，人性化設(shè)計,，操作方便，占地空間小,。
9. 可視化控制系統(tǒng)：采用PLC+觸摸屏控制整套系統(tǒng),，實現(xiàn)可視化操作，操作直觀方便,。還可實時記錄各種實驗數(shù)據(jù)并下載到PC端，方便用戶調(diào)整工藝數(shù)據(jù),。