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高溫?zé)Y(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,，可進(jìn)行真空燒結(jié),，氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),，是半導(dǎo)體設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,。下面詳解高溫?zé)Y(jié)爐的幾種常見故障應(yīng)對(duì)措施：

一,、冷卻水異常

1,、確認(rèn)加熱電源已停止,。  
2、爐外發(fā)生漏水,，冷卻水量異常時(shí),，應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施，如能保證水量,，請(qǐng)繼續(xù)保持真空,，如不能采取應(yīng)急措施，保持原狀,，確認(rèn)設(shè)備冷卻下來,。  
3、冷卻水發(fā)生異常時(shí),，設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài),，馬上接通緊急用冷卻水。  
4,、在高溫(超過200℃即視為高溫)時(shí),，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水,，水冷電極,、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞,。

二,、壓縮空氣的停止

1,、壓縮空氣異常報(bào)警時(shí)，設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài),，應(yīng)盡快到備用的壓縮機(jī)房,，讓其恢復(fù)工作。  
2,、真空中如壓縮空氣異常報(bào)警,，且恢復(fù)需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí)，則終止真空,，讓設(shè)備停下來,。

三、停電
  
1,、停電時(shí),，如果斷水，應(yīng)立即接通備用的冷卻水,，接通水源,。  
2、如果在非升溫,、加熱和冷卻時(shí),，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備,，繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長(zhǎng)時(shí)間,，則將設(shè)備保持原狀。  
3,、如果正在加熱和冷卻時(shí),，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備,，如果需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí),，則保持原狀，讓設(shè)備自然冷卻下來,。

四,、加熱電源掉電

1、水壓低,，當(dāng)水壓低于0.15MPa,，壓力表報(bào)警。  
2,、接地故障,。  
3、真空放電,，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,，與反射屏絕緣要好,。  
4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電),。電源出現(xiàn)故障,，掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電,。

五,、充氣氣體(氬氣或氮?dú)?停止

1、抽真空開始前,，氣體充入時(shí)間長(zhǎng)或者無(wú)法充入時(shí),，請(qǐng)確認(rèn)氣體管路是否被堵塞。  
2,、如氣體管路沒問題,，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作，為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要全部停止后再進(jìn)行檢查,。  
3,、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下，泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí),，要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng),。  
4、確認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方,，如有會(huì)影響制品質(zhì)量,。