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掃描電鏡SEM的主要結(jié)構(gòu)說明
掃描電子顯微鏡(SEM) 是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段,。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品, 通過光束與物質(zhì)間的相互作用, 來激發(fā)各種物理信息, 對這些信息收集,、放大,、再成像以達到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的。
掃描電鏡具有景深大,、分辨率高, 成像直觀,、立體感強、放大倍數(shù)范圍寬以及待測樣品可在三維空間內(nèi)進行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點,。另外具有可測樣品種類豐富, 幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時獲得形貌,、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學(xué)信息等優(yōu)點,。
掃描電鏡的主要結(jié)構(gòu)：
電子光學(xué)系統(tǒng)：產(chǎn)生高能電子束的鏡筒,，包括:電子槍、電磁透鏡和掃描線圈;
信號探測處理及成像系統(tǒng)：接收并處理各種電子信號,，包括掃描信號發(fā)生器,、探測器,、掃描放大器、電子信息處理器和監(jiān)控器;
圖像記錄系統(tǒng)：記錄電子圖像的信息,，包括攝像頭,、圖像分析器和記錄設(shè)備;
真空系統(tǒng)：作為電子束與樣品作用載體，包括樣品室,、真空閥門,、機械泵、油擴散泵,、離子泵和真空檢測裝置;
電源供給系統(tǒng)：調(diào)控掃描電子顯微鏡外部環(huán)境,，包括不間斷電源、變壓器,、穩(wěn)壓器,、安全控制線路和獨立地線。