電子源發(fā)射的電子束經(jīng)過電磁透鏡的電子光學(xué)通路聚焦,，電子源的直徑被縮小到納米尺度的電子束斑，與顯示器掃描同步的電子光學(xué)鏡筒中的掃描線圈控制電子束,，在樣品表面一定微小區(qū)域內(nèi),，逐點逐行掃描。電子束與樣品相互作用,，從樣品中發(fā)射的具有成像反差的信號,，臺式掃描電子顯微鏡由一個適當(dāng)?shù)膱D像探測器逐點收集，并將信號經(jīng)過前置放大器和視頻放大器,，用調(diào)制解調(diào)電路調(diào)制顯示器上相對應(yīng)顯示像素的亮度,，形成我們?nèi)祟愑^察習(xí)慣的，反映樣品二維形貌的圖像或者其他可以理解的反差機制圖像,。

　　由于圖像顯示器的像素尺寸遠遠大于電子束斑尺寸,，（0.1mm/1nm=100，000倍）而且顯示器的像素尺寸小于等于人類肉眼通常的分辨率,，這樣顯示器上的圖像相當(dāng)于把樣品上相應(yīng)的微小區(qū)域進行了放大,。通過調(diào)節(jié)掃描線圈偏轉(zhuǎn)磁場，可以控制電子束在樣品表面掃描區(qū)域的大小,，理論上掃描區(qū)域可以無限小,，但可以顯示的圖像有效放大倍數(shù)的限度是掃描電鏡分辨率的限度。

　　臺式掃描電子顯微鏡是控制信號不經(jīng)過計算機軟件,，直接由操作臺按鍵旋鈕等對執(zhí)行機構(gòu)進行控制,，屬于人工手動控制，控制精度由操作者觀察儀表盤的變化決定,，例如高壓電源,，掃描線圈，探測器電源,，電子槍控制,，磁透鏡控制，樣品臺的運動控制等等,。數(shù)字控制是所有控制指令輸入到交互控制軟件,，然后由計算機對執(zhí)行機構(gòu)發(fā)出準(zhǔn)確的數(shù)字指令，絕大部掃描電鏡參數(shù)可實現(xiàn)了軟件自動調(diào)整,，如自動聚焦,，亮度對比度,，自動消象散,，自動電子槍發(fā)射飽和,，自動電子槍對中，自動物鏡光闌合軸等,。