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氦質(zhì)譜檢漏儀基本檢測方法如下:噴氦法,,真空氦罩法,,吸槍法,鋼瓶法,,真空容器法,,并列排氣法等。
島津氦質(zhì)譜檢漏儀搭載了新型的CPU,,采用專用的分流泵及中間排氣系統(tǒng),實現(xiàn)了的低BG恢復(fù)性能和操作性,。
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