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一、SS-60-S臺式掃描電鏡主要參數(shù):

1,、分辨率：15nm (30kV, SE Image)

2,、放大倍率：20~60,000 X

3、加速電壓：1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -6 step)

二,、圖像檢測：

1,、二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image

2、 Detector SE 二次電子探測器

3,、觀察模式：

3.1.Standard Mode 標(biāo)準(zhǔn)模式

3.2.Charge-up reduction mode 遞減模式

三,、電子槍系統(tǒng)：

1,、燈絲類型：預(yù)對中鎢燈絲

2、偏壓系統(tǒng)：自動(dòng)偏壓方式

3,、電子槍校正：手動(dòng)方式

四,、透鏡構(gòu)成：

1、聚光鏡：2段式磁線圈透鏡

2,、物鏡：1段式磁線圈物鏡

3,、探測器類型：SE Detector/ BSE Detector

4、載物臺系統(tǒng)：手動(dòng)

5,、載物臺移動(dòng)：3軸手動(dòng)

6,、圖像偏移：Image shift X, Y Image Shift (±150um)

7、樣品尺寸：高度30mm時(shí)直徑80mm

8,、圖像掃描：

快速掃描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速掃描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)

圖片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)

圖片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

圖片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

9,、自動(dòng)功能：自動(dòng)啟動(dòng),，自動(dòng)聚焦,，自動(dòng)亮度對比度調(diào)節(jié)

10、圖像存儲格式：BMP, JPEG, PNG,TIFF

11,、數(shù)據(jù)顯示：放大倍率,，探測器類型，電壓,，真空模式,，Logo(Text)，Date and time,，Text marker,，比例尺等

12、真空系統(tǒng)：高真空模式（旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵）Rotary Pump/100Liters/min

（渦輪式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

抽真空時(shí)間：3分鐘以內(nèi)

13,、軟件：

圖像文件打開,，編輯，存儲功能長度,，面積,，角度等測量功能,設(shè)置數(shù)初始化，圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換,，Archives, Setting(EDS)模式等

14,、SS-60-S臺式掃描電鏡是一款適用型的掃描電鏡，以其非常高的性價(jià)比獲得了客戶的好評