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環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
產(chǎn)品說明,、技術(shù)參數(shù)及配置
EDX-V是天瑞儀器集30多年X熒光膜厚測量技術(shù),研發(fā)的一款X射線熒光鍍層測厚及成分分析儀,。儀器采用多導(dǎo)毛細(xì)管X射線光學(xué)系統(tǒng),對于微米級尺寸電子零件,、芯片針腳,、晶圓微區(qū)等部件的鍍層厚度和成分分析,能進(jìn)行高效,、準(zhǔn)確的測量,。
天瑞儀器 EDX-V 是一款 X 射線熒光鍍層測厚及成分分析儀,,以下是其詳細(xì)介紹1:
采用多導(dǎo)毛細(xì)管 X 射線光學(xué)系統(tǒng),利用 X 射線熒光原理,,當(dāng) X 射線照射到樣品上時,,樣品中的元素會被激發(fā)產(chǎn)生特征 X 射線熒光,通過檢測這些熒光的能量和強(qiáng)度來分析鍍層的成分和厚度,。
近光路系統(tǒng):結(jié)合鍍層行業(yè)微小樣品檢測需求,,研發(fā)適用于鍍層檢測的超近光路系統(tǒng),減少能量過程損耗,。
聚焦技術(shù):搭載先進(jìn)的多導(dǎo)毛細(xì)管聚焦管,,聚焦強(qiáng)度提升 1000 - 10000 倍,具有更高的檢測靈敏度,、分析精度和高計數(shù)率,,保證測試結(jié)果精確穩(wěn)定,。
相機(jī)設(shè)計:全景 + 微區(qū)雙相機(jī)設(shè)計,呈現(xiàn)全高清廣角視野,,樣品觀察更全面,,微米級別分辨率,滿足超微產(chǎn)品測試,。
毛細(xì)管技術(shù):先進(jìn)的多導(dǎo)毛細(xì)管技術(shù),,信號強(qiáng)度比金屬準(zhǔn)直系統(tǒng)高出幾個數(shù)量級,還有多規(guī)格可選的多導(dǎo)毛細(xì)管,,滿足用戶不同測試需求,。
移動平臺與定位系統(tǒng):高精度 XYZ 軸移動測試平臺,結(jié)合雙激光點(diǎn)位定位系統(tǒng),,可實現(xiàn)在樣品測試過程中的全自動化,,一鍵點(diǎn)擊,測試更省心,。
測量超微小部件和結(jié)構(gòu):如印制線路板,、連接器或引線框架等。
分析超薄鍍層:如厚度薄至 2nm 的 Au 鍍層和≤30nm 的 Pd 鍍層,。
測量電子和半導(dǎo)體行業(yè)中的功能性鍍層,。
分析復(fù)雜的多鍍層系統(tǒng)。
全自動測量:用于質(zhì)量控制領(lǐng)域,。
符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn):符合 ENIG/ENEPIG 要求,,以及 DIN ISO 3497、ASTM B568,、IPC 4552 和 IPC 4556 標(biāo)準(zhǔn),。