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　　射頻微電子機械系統(tǒng)（RF-MEMS）是一種基于MEMS的射頻無源器件，與傳統(tǒng)的微波器件相比,，它具有許多優(yōu)點,，包括提高隔離度,、降低功耗、降低成本,、尺寸和重量,。其中最成功的是RF-MEMS開關。本篇文章納米軟件Namisoft將為大家詳細分享一下射頻MEMS芯片測試解決方案,。

　　該技術可用于智能手機,、移動基礎設施、物聯(lián)網(wǎng)和國防等領域的各種無線通信應用,。它們可用于天線調(diào)諧,、阻抗匹配、天線波束形成,、相移以及為軟件可定義無線電（SDR）開發(fā)可調(diào)諧濾波器,。

　　RF MEMS是MEMS技術的重要應用領域之一,，也是二十世紀九十年代以來MEMS領域的研究熱點。RFMEMS用于射頻和微波頻率電路中的信號處理,，是一項將能對現(xiàn)有雷達和通訊中射頻結構產(chǎn)生重大影響的技術,。隨著信息時代的來臨，在無線通信領域,，特別是在移動通信和衛(wèi)星通信領域,，正迫切需要一些低功耗、超小型化且能與信號處理電路集成的平面結構的新型器件,，并希望能覆蓋包括微波,、毫米波和亞毫米波在內(nèi)的寬頻波段。而通訊系統(tǒng)中仍有大量的片外分立元件,，例如電感,、可變電容、濾波器,、耦合器、移相器,、開關陣列等,，成為限制系統(tǒng)尺寸進一步縮小的瓶頸。RF MEMS技術的出現(xiàn)有望解決這個難題,。采用RF MEMS技術制造的無源器件能夠直接和有源電路集成在同一芯片內(nèi),，實現(xiàn)射頻系統(tǒng)的片內(nèi)高集成，消除由分立元件帶來的寄生損耗,，真正做到系統(tǒng)的高內(nèi)聚,，低耦合，能顯著提高系統(tǒng)的性能,。

　　下一代電信系統(tǒng)和智能手機對RF MEMS開關和其他RF MEMS器件的需求在不斷增長,。根據(jù)半導體市場調(diào)研機構Yole Développement的報告，RF MEMS器件市場將大幅增長,。Yole指出,，由于5G設備中需要有源天線，5G通信的發(fā)展將增加對基于MEMS的器件（如RF BAW濾波器）的需求,。此外,，RF MEMS振蕩器會被用于部署與5G相關的新基站和邊緣計算。

　　納米軟件Namisoft的RF MEMS芯片自動測試方案

　　NSAT-1000 RF MEMS芯片自動測試系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)對線纜等無源器件進行自動化測試,，測試場景如圖所示,。用戶只要錄入測試被測產(chǎn)品的批次號、型號以及編號,，便可對產(chǎn)品進行自動測試,，并保存測試數(shù)據(jù)到數(shù)據(jù)庫,，用戶可根據(jù)需要查詢測試數(shù)據(jù)并生成報表。

　　◆兼容中電41所（思儀）,、是德科技（Keysight）,、安捷倫(Aglient)、日本安立（Anritsu）,、羅德與施瓦茨（R&S）,、韓國興倉（Protek）、美國泰克（Tektronix）,、創(chuàng)遠和德力等主流網(wǎng)絡分析儀型號,；智能匹配儀器型號，操作方便簡單,，提高測試效率,；

　　◆自動測量射頻微波無源器件（包括濾波器、功分器,、天線,、放大器、衰減器,、混頻器,、耦合器等）的S參數(shù)、增益,、損耗,、阻抗、平坦度,、隔離度等指標,；

　　◆自動保存配置信息、測試數(shù)據(jù)到數(shù)據(jù)庫中,，方便隨時查詢,；

　　◆自動生成測試報告，用戶可根據(jù)需要定制報告模板,；

　　◆支持電腦安裝和儀器內(nèi)部安裝兩種模式,，方便用戶選擇；

　　◆內(nèi)置多語言支持,，針對網(wǎng)絡分析儀系統(tǒng)的中英文不同版本可自動匹配,；

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