1. 什么是質量流量計？什么是質量流量控制器,？
質量流量計,，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,，不需要溫度壓力補償,。
質量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質量流量計的功能，更重要的是,，它能自動控制氣體流量,，即用戶可根據(jù)需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上,，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,，也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置,。

 質量流量控制器的原理是什么,？
質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道,、流量調節(jié)閥門和放大控制器等部分組成,。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調節(jié)閥門,，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等,。分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設定電位器, 外設,、內(nèi)設轉換和三位閥控開關等,。

3. 什么情況下用質量流量計, 什么情況下用質量流量控制器 ?
一般而言，僅對流量進行計量或監(jiān)測時,，用質量流量計,；需要對流量進行控制時，用質量流量控制器,。某些測量場合,，用二者皆可，如對毛細管流通能力的測量,當定壓測流的時候, 用質量流量計; 當定流測壓時, 需要用質量流量控制器,。注意, 當質量流量控制器處于清洗狀態(tài)時, 也可以當質量流量計使用, 只不過氣壓降要比普通質量流量計大一些,。

4. 質量流量計 / 質量流量控制器的主要優(yōu)點是什么？
(1) 流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準,。
對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言,，很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導致較大的誤差,；對于質量流量計 / 質量流量控制器,，則一般可以忽略不計。
(2) 測量控制的自動化
質量流量計 / 質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出,。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動計量﹑數(shù)據(jù)自動記錄﹑計算機管理等,。對質量流量控制器而言，還可以實現(xiàn)流量的自動控制,。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進行自動控制,。

(3) 精確地定量控制流量
質量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用,。
(4) 適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）,；有很寬的流量范圍,，我們的產(chǎn)品最小流量范圍可達0～5 sccm，最大流量范圍可達0～200 slm,。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% (量程比為-- 50:1), 因此在很多領域得到廣泛應用,。

5. 質量流量計的缺點是什么? 使用質量流量控制器最害怕什么?
相對廉價的轉子流量計來說, 質量流量計的主要缺點就是價格比較昂貴。
使用質量流量控制器有四怕:
第一怕粉塵, 若粉塵進入流量計會堵塞傳感器和分流器, 造成測量誤差, 要求在進氣口前加裝過濾器;
第二怕液體和油污進入MFC, 會造成失控, 如果MFC的出口接有液體罐, 需要在MFC出口加上單向閥, 防止液體回流;
第三怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統(tǒng)進行干燥處理;
第四怕在使用強腐蝕性,、易燃易爆,、有毒等危害性氣體時不按安全規(guī)則操作, 有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴重的損失。正確使用, 安全操作, 對每個用戶都是最重要的,。

6. 質量流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?
質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節(jié)閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調節(jié)到測量的滿量程, 在工作的過程當中, 控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降, 即壓差,。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa),有可能控制達不到滿量程值; 若高于最高值(0.3MPa), 有可能關閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應室是真空還是高壓, 應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定,。

7. 質量流量控制器在高壓條件下如何使用?
質量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點: 第一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC;第二, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號; 第三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點, MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作,。

8. 使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽, 氣壓很低, 如何定制質量流量控制器的低壓降產(chǎn)品?
部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源(如用丙酮等), 氣壓很低, 用普通MFC, 不能正常工作,。這時用戶需要向供貨商特別聲明,定制低壓降的質量流量控制器。通?？梢远ㄖ乒ぷ鲏翰畹陀?.01MPa的MFC, 這時MFC的工作壓差范圍, 也會變小,。
注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時, 不能讓汽化物在MFC中結露, 結露會影響MFC的正常工作。為了防止結露, 可以對管路和MFC適當加溫, 但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過50℃,。如果用戶要MFC的工作環(huán)境溫度超過65℃以上, 需要特殊購買高溫MFC產(chǎn)品,。

9. 質量流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?
質量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失,。
通常氣體質量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼,、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料,。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體,。對于三溴化硼、三氯化硼,、氟化氫等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議最好采用金屬密封的MFC,。
由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于氯化氫等鹵族干燥氣體,。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠,。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 有機溶劑汽氛(丙酮,、甲苯等)——需要采用硅橡膠; 三溴化硼,、三氯化硼、氟化氫等——需要采用全氟橡膠,。

10. 選擇產(chǎn)品和訂貨時應當注意什么,？
這一點關系到用戶的切身利益，涉及的問題也比較多,，因而我們盡可能地給以祥盡﹑客觀的回答,。
(1) 注意選擇正確的品牌
一般應當全面衡量生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品質量﹑銷售價格﹑售后服務﹑技術水平﹑產(chǎn)品特點﹑生產(chǎn)規(guī)模﹑企業(yè)信譽等因素。
(2) 注意選擇正確的量程
A. 將您需要的流量換算成標準狀態(tài)下的流量（質量流量）,。
B. 根據(jù)廠家提供的質量流量轉換系數(shù)表,，將您所用氣體的質量流量值換算成與氮氣（標定氣體）等價的質量流量值。如果您希望按您實際使用的氣體標定,，請向廠家說明,。有關質量流量轉換系數(shù)的問題，以下還有進一步解答,。
C. 確定所需標準量程,。廠家一般有自己的各種規(guī)格的標準量程，您實際使用的流量最大值應接低于某個標準量程值,。標準量程的選取要避免過大或過小,。質量流量的誤差指標是按滿量程值的百分比規(guī)定的，如果實際流量較小而量程值選取過大,，則測量值的相對誤差較大,。
(3) 注意選擇正確的工作壓力指標
不同的產(chǎn)品工作壓力指標可能不同，注意選擇適合自己的產(chǎn)品,。
質量流量控制器（MFC）除最大工作壓力之外,，還有另一項工作壓力指標：工作壓差，即MFC進氣端和出氣端之間的壓差,，選型時要注意,，使用時也要注意,。
(4) 注意選擇合適的精度指標
準確度﹑線性﹑重復精度是比較重要的幾項指標，其中重復精度在很多應用場合尤為重要,。指標不一定追求最高,，應考慮自己的實際需要。
如果對廠家給出的指標不放心,，有條件的用戶也可以自己標定一下,。標定的方法參見下面的有關內(nèi)容。
(5) 注意選擇合適的響應時間指標
有的應用系統(tǒng)對MFC的響應時間有較高的要求,，用戶應根據(jù)自己的情況加以考慮,。在考慮響應時間指標的同時，還應注意其響應過程及動態(tài)特性,。
(6) 注意對安裝位置有無要求
有的廠家的產(chǎn)品要求必須水平位置安裝,。
(7) 注意使用氣體和適用范圍
MFM/MFC 對使用的環(huán)境及介質溫度﹑氣源壓力﹑介質（特別是使用對腐蝕性氣體）情況等均有一定適用范圍，請注意閱讀說明書或向廠家咨詢,。
(8) 注意接頭形式
通常有雙卡套(Swagelok)和VCR兩種接頭可以選擇, VCR接頭性能更好適合于應用,。
(9) 訂貨應注明：
產(chǎn)品名稱、型號,、流量規(guī)格,、標定氣體、使用氣體（特別是腐蝕性氣體）,、接頭形式和數(shù)量,。

11. 買質量流量計 / 質量流量控制器時，還需要買其它配套產(chǎn)品嗎,？
一般需要流量顯示儀與之配套使用,。流量顯示儀為MFM/MFC提供工作電源，進行流量顯示,，對MFC進行流量設定操作,。如果將MFM/MFC直接和計算機測控系統(tǒng)相連，視情況也可以不配流量顯示儀,。
另外根據(jù)系統(tǒng)的需要可以選購截止閥﹑過濾器﹑干燥器﹑單向閥﹑管接頭﹑減壓器﹑背壓閥等,。