廠家勻膠機(jī)選購巧概述
選購巧
從其原理來說,，可以看出選購勻膠機(jī)需要注意的幾個細(xì)節(jié)
旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性,。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大，對于要求密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的,。產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍,，并不能確標(biāo)定實(shí)時的轉(zhuǎn)速?？诘膭蚰z機(jī)雖然大分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速,，但是大分轉(zhuǎn)速度沒有標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。建議購買轉(zhuǎn)速控制方面有認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的,，比如:美NIST標(biāo)準(zhǔn)等,。
真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)
真空泵定要無油的,，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實(shí)在不敢恭維,。因?yàn)楹蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?，如果真空吸附力降低，會?dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況,，還會讓滴膠液不慎入真空管道系統(tǒng)成*堵塞,。用過產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題，這點(diǎn)許多外的勻膠機(jī)做得不錯,，他們有通過聯(lián)動機(jī)制,，如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉(zhuǎn),。
材質(zhì)的選擇
對于半導(dǎo)體化行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,，大分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),，因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不太好,，塑料對于較溫度和壓力下易產(chǎn)生變形,。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導(dǎo)致旋涂時,，時時低的顛簸狀態(tài),。自然無法得到好的旋涂效果。例如美等型號都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,，PTFE)材質(zhì),。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源,、重量輕,、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好,、堅(jiān)固耐用,、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn),。
概述
該設(shè)備主要用于晶片涂光刻膠,，有自動、手動和半自動三種作方式,。
送片盒中的晶片,，自動送到承片臺上，用真空吸附,，在主軸電機(jī)的帶動下旋轉(zhuǎn),，轉(zhuǎn)速100-9900轉(zhuǎn)/分(±10轉(zhuǎn)/分),，起動加速度可調(diào)。每道程序的持續(xù)時間,，轉(zhuǎn)速,、加速度、烘烤溫度,、烘烤時間,、預(yù)烘時間等藝參數(shù)均可通過編程控制。
勻膠機(jī)有個或多個滴膠系統(tǒng),，可涂不同品種的光刻膠,。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉(zhuǎn)滴膠。隨著晶片尺寸的增大,，出現(xiàn)了多點(diǎn)滴膠或膠口移動式滴膠,。膠膜厚度般在500-1000nm，同晶片和片與片間的誤差小于±5nm,。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種,，并有流量計(jì)行恒量控制。對涂過膠的晶片有上下刮邊能,，去掉晶片正反面多余的光刻膠,。
烘烤位，有隧道式遠(yuǎn)紅外加熱,，微波快速加熱以及電阻加熱的熱板爐等,。涂膠后的晶片要按定的升溫速率行烘干。烘烤過程在密封的爐子中行,，通過抽真空排除揮發(fā)出來的有害物質(zhì),。前烘結(jié)束后，將晶片送入收片盒內(nèi),。
