廠家勻膠機選購巧概述
選購巧
從其原理來說，可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節(jié)
旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性,。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大，對于要求密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的,。產(chǎn)的某些勻膠機只能提供轉(zhuǎn)速范圍,，并不能確標定實時的轉(zhuǎn)速?？诘膭蚰z機雖然大分能標定轉(zhuǎn)速,，但是大分轉(zhuǎn)速度沒有標準認定。建議購買轉(zhuǎn)速控制方面有認定標準的,，比如:美NIST標準等,。
真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)
真空泵定要無油的,，壓力標定準確,，內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維。因為何的油污都可能堵塞真空管道,，如果真空吸附力降低,，會導致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況，還會讓滴膠液不慎入真空管道系統(tǒng)成*堵塞,。用過產(chǎn)勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題,，這點許多外的勻膠機做得不錯，他們有通過聯(lián)動機制,，如果真空吸附力不夠的時候,，不會開始旋轉(zhuǎn)。
材質(zhì)的選擇
對于半導體化行業(yè)的應用來說,，材質(zhì)的選擇尤為關鍵,，大分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低,，不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不太好,，塑料對于較溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,，將會導致旋涂時,，時時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果,。例如美等型號都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,，PTFE)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保,、節(jié)約資源,、重量輕,、強度大、抗沖擊性能好,、堅固耐用,、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點,。
概述
該設備主要用于晶片涂光刻膠,，有自動、手動和半自動三種作方式,。
送片盒中的晶片,，自動送到承片臺上，用真空吸附,，在主軸電機的帶動下旋轉(zhuǎn),，轉(zhuǎn)速100-9900轉(zhuǎn)/分(±10轉(zhuǎn)/分)，起動加速度可調(diào),。每道程序的持續(xù)時間,，轉(zhuǎn)速、加速度,、烘烤溫度,、烘烤時間、預烘時間等藝參數(shù)均可通過編程控制,。
勻膠機有個或多個滴膠系統(tǒng),，可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉(zhuǎn)滴膠,。隨著晶片尺寸的增大,，出現(xiàn)了多點滴膠或膠口移動式滴膠。膠膜厚度般在500-1000nm,，同晶片和片與片間的誤差小于±5nm,。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種，并有流量計行恒量控制,。對涂過膠的晶片有上下刮邊能,，去掉晶片正反面多余的光刻膠。
烘烤位,，有隧道式遠紅外加熱,，微波快速加熱以及電阻加熱的熱板爐等。涂膠后的晶片要按定的升溫速率行烘干,。烘烤過程在密封的爐子中行,，通過抽真空排除揮發(fā)出來的有害物質(zhì)。前烘結(jié)束后,，將晶片送入收片盒內(nèi),。
