PI(Physik Instrumente)納米定位平臺

P-752高精度納米定位平臺

§ 分辨率0.1納米

§ 快速響應

§ 行程達35微米

§ 電容式傳感器帶來線性度

§ 無摩擦柔性鉸鏈導向可實現(xiàn)*的運動 精度

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

應用領域

§ 掃描顯微鏡

§ 測量技術(shù)

§ 測試程序和質(zhì)量保證

§ 光子

§ 光纖定位

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣,。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障,。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng) 的聚合物絕緣促動器長達十倍,。它們被證明可實現(xiàn)*運行1000億個循環(huán),。

帶電容式傳感器,，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸,。它們可確保優(yōu)異的運動線性,、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬,。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦,、無磨損,，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力,，且它們對chong擊和振動不敏感,。 它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作,。

自動配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合,、快速更換,。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時,，數(shù)字控制器的自動校準功能就會使用這些數(shù)據(jù),。

直接位置測量帶來精度

運動直接在運動平臺上測量，*不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實現(xiàn)jia的重復精度,、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性 、快速響應控制,。

訂購信息

P-752.11C 高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng),，15微米，直接位置測量,，電容傳感器,，LEMO連接器

P-752.1CD 高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，15微米,，直接位置測量,，電容傳感器，Sub-D連接器

P-752.21C 高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng),，30微米,，直接位置測量，電容傳感器,，LEMO連接器

P-752.2CD 高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng),，30微米，直接位置測量,，電容傳感器,，Sub-D連接器

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