PI(Physik Instrumente)定位器

P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器

·         X和Y向上的行程達(dá)100微米×100微米

·         電容式傳感器使分辨率達(dá)0.1納米

·         帶直接驅(qū)動器的高速版本

·         可提供真空兼容和非磁性版本

·         并聯(lián)運(yùn)動實(shí)現(xiàn)更高精度和動態(tài)

·         導(dǎo)向誤差主動補(bǔ)償?shù)牟⑿杏?jì)量

·         零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

·         50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光應(yīng)用

PI(Physik Instrumente)定位器

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         共聚焦顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         表面測量技術(shù)

·         納米壓印

·         顯微操縱

·         圖像處理/穩(wěn)定

·         高運(yùn)動平面度和直線度的納米定位

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣,。這可以防潮,，避免漏電流增大造成故障,。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)*運(yùn)行1000億個循環(huán),。

帶電容式傳感器,，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸,。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動線性,、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

PI(Physik Instrumente)定位器