JULABO溫度控制器可以減少生產(chǎn)時間
半導體生產(chǎn)中的許多工藝都必須精確控制溫度,。在幾乎無限個單獨的步驟中，應用極薄的層,，部分遮蓋,，并以絕對精度去除未遮蔽的部件。蝕刻槽必須保持在最佳溫度范圍內(nèi),，以保持濕化學工藝中的蝕刻速率恒定和可預測,。這需要使用絕對精確和可靠的溫度控制解決方案，這些解決方案針對各自的應用領域進行了理想的校準,。

JULABO溫度控制器可以減少生產(chǎn)時間

半導體生產(chǎn)中的許多工藝都必須精確控制溫度,。在幾乎無限個單獨的步驟中，應用極薄的層,，部分遮蓋,，并以絕對精度去除未遮蔽的部件。蝕刻槽必須保持在最佳溫度范圍內(nèi),，以保持濕化學工藝中的蝕刻速率恒定和可預測,。這需要使用絕對精確和可靠的溫度控制解決方案，這些解決方案針對各自的應用領域進行了理想的校準,。

平衡的溫度控制系統(tǒng)不僅可以改善生產(chǎn)結果,，還可以提高過程可靠性并減少生產(chǎn)時間、成本和維護,。

看起來像堡壘的導電路徑的生產(chǎn)需要納米范圍內(nèi)的絕對精度,。

蝕刻速率（每次材料去除率）必須知道最小的細節(jié)，沈陽漢達森yyds吳亞男并盡可能長時間地保持恒定,，以實現(xiàn)納米范圍內(nèi)的精度,。此外,，反應產(chǎn)物必須立即溶解，以免污染蝕刻液,。

由于反應伙伴溶解在蝕刻液中，其濃度也隨著加工晶片數(shù)量的增加而降低,，這就是為什么必須定期更換的原因,。除了濃度之外，蝕刻槽的溫度尤其對蝕刻速率有直接影響,，因為隨著溫度的升高,，化學溶液通常會變得更加反應。此外,，溫度會影響反應產(chǎn)物的溶解速度,。

JULABO型號

CORIO CD-200F

恒溫器 PRESTO W40 

CORIO CP-450F

SW22, SW23, TW20

CORIO CD-B33

CF31

蝕刻槽的溫度在半導體工業(yè)中起著核心作用。蝕刻槽的最小溫度偏差已經(jīng)會產(chǎn)生災難性的后果,，并使整個晶圓無法使用,。因此，在濕化學加工中僅使用高精度和故障安全的溫度控制系統(tǒng),。它們必須能夠準確地將溫度保持在目標范圍內(nèi),，并對溫度偏差做出快速反應。此外,，更換蝕刻液時,，它們必須快速恢復蝕刻槽的正確溫度，以確保恒定的生產(chǎn)流程,。

JULABO溫度控制器可以減少生產(chǎn)時間