價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 微流控芯片系統(tǒng) |
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應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,生物產(chǎn)業(yè) |
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
Dilase 250 一款桌面式精密激光直寫設備
Dilase 250 一款桌面式精密激光直寫設備,,非常適用于快速打樣、光刻掩模版加工以及微加工應用,。Dilase 250采用KLOE公司研發(fā)的光路設計,,具有較大的聚焦景深,該設計輔以自動控制的絕參考標準,,使之在無需設置自動聚焦的情況下保證良好的直接精度和重復性,。
我們專注于核心技術:
激光光源:
Dilase 250激光光源的波長可以配置為375nm或405nm,從而滿足市場上大多數(shù)的商業(yè)化光刻膠的直寫應用,。包括激光探頭在內(nèi)的Dilase250的整個光路系統(tǒng)都是固定的,,這保證了設備在工作過程中的穩(wěn)定性和可靠性。
激光光斑聚焦系統(tǒng)
采用光學管技術,,光源經(jīng)過濾波,、均一、聚焦等處理,,形成直寫光斑,,實現(xiàn)高精度激光直寫。
樣品臺
樣品臺采用該精度位移臺,,驅(qū)動樣品按照軟件設定的圖形進行移動,,在此過程中,激光頭保持在固定位置,,實現(xiàn)大尺寸,、高精度、無拼接圖形直寫,。
技術特色:
1. 超大可視窗口
Dilase 250配備了一個超大可視窗口,,可以直觀地觀測整個工作過程;同時,,該窗口也方便操作人員完成上下料,。
2. 高深寬比結構加工
Dilase 250*的聚焦光路設計使之可以輕松完成深寬比20:1的微結構的加工,同時可定制滿足50:1深寬比結構加工。
3. 最 大直寫面積:100mm*100mm
設備配置的精密位移臺滿足100mm*100mm尺寸樣品的直寫,,位移臺放置在大理石臺面上,,并具備防震設計,保證設備的穩(wěn)定性,。
4. 激光光源
采用高穩(wěn)定性固態(tài)激光器,,波長375nm或405nm可選,工作壽命大于10000小時,,無需預熱等待,。
5. 友好的操作系統(tǒng)
硬件方面設備配置預裝直寫軟件的電腦一臺,設備上裝有主開關和急停開關,,操作窗裝有安全傳感器,,只有在操作窗口關閉情況下激光器才會開啟,保證操作人員的安全,。
設備預裝了DilaseSoft直寫軟件,,兼容LWO、GDS2,、DXF格式文件,。
6. 不同直寫模式實現(xiàn)高速和高精度兼得
Dilase250是市場上一款具備三種直寫模式的激光直寫設備,即掃描模式,、矢量模式和掃描+矢量模式,,實現(xiàn)高速和高精度兼得。
規(guī)格參數(shù)
性能參數(shù)
分辨率: 100nm
線性直寫速度:> 100mm.s-1
樣品臺位移精度:100nm standard 40nm optional
重復性誤差:100nm
多層對位精度: 1µm
定位精度:3µm / 100mm
直寫精度:100nm +/- 3µm
正交性:<1mRad
激光光源
波長: 375nm 或者 405nm
激光光斑: 1um-50um可選
樣品載臺:
樣品大?。?span>From 3x3mm² to 4" Up to 5" for square
最 大直寫面積:100mm * 100mm
樣品厚度:250um – 5mm