德國(guó)Suragus面阻測(cè)試儀

簡(jiǎn)介

德國(guó)Suragus面阻測(cè)試儀，其通過渦流的原理測(cè)量材料面阻值,，該技術(shù)是一種非接觸式面阻測(cè)試技術(shù)且測(cè)試準(zhǔn)確穩(wěn)定,，對(duì)于無損檢測(cè)、在線監(jiān)測(cè)具有重要意義,。

規(guī)格參數(shù)

測(cè)量模式：非接觸式實(shí)時(shí)測(cè)量

襯底：foils, glass, wafer等

平臺(tái)尺寸：8 inch / 204 x 204 mm（其他規(guī)格請(qǐng)聯(lián)系）

面阻范圍： 0.0001 to 3,000 Ohm/sq

薄膜厚度：2nm – 2mm（依據(jù)面阻而定）

設(shè)備尺寸：11.4 x 17.5 x 5.5 inch / 290 x 445 x 140 mm@10 Kg

功能圖解

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