KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列

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簡介

法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗,，其研發(fā)的UV- KUB系列光刻機是一種基于UV LED的曝光機系統(tǒng)，結構緊湊,，可以直接放置在實驗臺上,，能夠處理大直徑4英寸的晶圓，兼容硬接觸（接觸式）或者軟接觸（接近式）工藝,，可自動調(diào)整掩膜高度以適應不同的基板厚度,，可使用365 nm或405 nm的光源，不需要預熱,，也不需要單獨的冷卻單元,。另外，UV-KUB系列*的設計,，保證了光源的準直性和均勻性,，其小分辨率可達2μm，大發(fā)散角小于2°

本系統(tǒng)適用于市面上常用的光刻膠,，如AZ系列,、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。

規(guī)格參數(shù)

功能圖解

UV-KUB 2型光刻機,，是市場上一款采用UV-LED光源系統(tǒng)的光刻機,，其配備了基于LED光源的光學頭，使用壽命大大提高,，結構小巧,，性價比高，非常適合實驗室應用,。

UV-KUB 3是一款帶對位功能的UV-LED曝光機,，光源為365nm，其觸摸屏和CCD相機代替了傳統(tǒng)的顯微鏡及雙筒目鏡,，控制器提供了圖像捕獲,、測量以及對齊坐標的記錄等功能，可以實現(xiàn)預對準,，這樣,，用戶再通過操作手柄便能方便的進行終的對準操作。

UV-KUB 2 

UV-KUB 3

應用系統(tǒng)

微流控芯片

MEMS器件