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Prober Shuttle PS8, 超緊湊的 PS8可安裝多達八個MM4 微機械手以及一個三軸子平臺,。27 個軸中的每個軸都能以JI高的精度進行定位。探針的 Z 驅(qū)動向上擺動 90°,，便于接近樣品,，也便于快速更換針尖,。

每個微型MM4機械手都配備了用于低電流測量套件,。整個平臺可通過一個 6" Load Lock進入掃描電鏡或掃描電鏡/FIB 的真空室。

Prober Shuttle PS8,還配有高級探測工具套件（可選）,，可為Probing探測應(yīng)用提供大量附加功能,。可用于半導(dǎo)體材料,，器件,，結(jié)構(gòu)等電學(xué)性能分析。

系統(tǒng)特點

所有空氣側(cè)硬件均安裝在 19 英寸機架上

電子設(shè)備機架位于操作員視線之外

通過 APT UI 控制整個系統(tǒng)

從法蘭到機架的整潔電纜管理

針對電路編輯應(yīng)用的 FIB 傾斜探測

非磁性設(shè)計

可用于5納米及更高