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目錄:上海溪拓科學(xué)儀器有限公司>>德國Kleindiek>>微納米操縱儀>> MM3E位置編碼的微納操縱儀

位置編碼的微納操縱儀
  • 位置編碼的微納操縱儀
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  • 位置編碼的微納操縱儀
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 德國Kleindiek
  • 型號 MM3E
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 產(chǎn)品資料 查看pdf文檔
  • 所在地 上海市
屬性

>

更新時間:2025-01-16 15:33:07瀏覽次數(shù):1341評價

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位置編碼的微納操縱儀(Encoded Micromanipulator),,兼具M(jìn)M3A-EM產(chǎn)品的特點(diǎn)的同時,,各軸都具有編碼功能,可實(shí)現(xiàn)位置的編碼,、存儲,、調(diào)用。一鍵恢復(fù)探針到工作或停留位置,。

位置編碼的微納操縱儀MM3E以MM3A-EM微納米操縱儀為基礎(chǔ),,具有MM3A-EM相同的緊湊性、精確性和穩(wěn)定性,。同時,,MM3E具有閉環(huán)位置反饋功能(closed-loop positional feedback),該功能提高微納米操縱儀的易用性,。一鍵定位MM3E的探針到工作(Working)和停留(Parking)位置,。

MM3E與市場上幾乎所有的SEM或FIB/SEM兼容。它配備了一個直觀的拖放式(drag&drop-style)控制軟件,,可方便地在SEM或FIB/SEM工具內(nèi)定位探針,。

軟件可執(zhí)行坐標(biāo)變換,使MM3E以笛卡爾坐標(biāo)系工作,,其重現(xiàn)性僅為幾微米,。利用可選的帶編碼的旋轉(zhuǎn)軸,樣品可在工作位置進(jìn)行同心旋轉(zhuǎn)(compucentrically),。

位置編碼的微納操縱儀

位置編碼的微納操縱儀產(chǎn)品特點(diǎn):

配有模塊化組件和一系列插件工具的即插即用系統(tǒng)

適用于大多數(shù)SEM/FIB的接口解決方案

輕松使用多個機(jī)械手

結(jié)構(gòu)緊湊,,可實(shí)現(xiàn)更高的共振頻率

幾乎不受振動影響

快速手動預(yù)定位

寬大的工作范圍(100cm3)


技術(shù)參數(shù):

X/Y分辨率:0.5nm

Z分辨率:0.02nm

R軸分辨率:0.5e-6°

XYZ重復(fù)性:<2µm

R軸重復(fù)性:<0.02°

漂移:<1nm/min

同心旋轉(zhuǎn)同心度~30µm


應(yīng)用:

原位提取(In-situ lift-out)

納米探測(NanoProbing)

微納操縱(NanoManipulation)

位置編碼的微納操縱儀

Compucentric rotation within a field of view of 30 µm

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