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目錄:束蘊儀器(上海)有限公司>>MDP>> MDPpro晶圓片晶錠壽命檢測儀

晶圓片晶錠壽命檢測儀
  • 晶圓片晶錠壽命檢測儀
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  • 代理商 廠商性質(zhì)
  • 上海市 所在地
規(guī)格

屬性

應(yīng)用領(lǐng)域:醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,化工

>

更新時間:2024-09-11 21:25:35瀏覽次數(shù):3140評價

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應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,化工
晶圓片晶錠壽命檢測儀用于常規(guī)質(zhì)量控制,、精密材料研發(fā)的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量

Mono- and Multi-crystalline wafer and brick lifetime measurement device

應(yīng)用范圍:用于常規(guī)質(zhì)量控制、精密材料研發(fā)的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量

 

 

根據(jù)SEMI標準PV9-1110的非接觸式和無損成像(μPCD / MDP(QSS)),、光電導(dǎo)性,、電阻率和p/n檢查,。

晶圓切割,爐內(nèi)監(jiān)控,,材料優(yōu)化等,。


日常壽命測量,質(zhì)量控制和檢驗
 
◆產(chǎn)量:>240塊/天或>720片/天
◆測量速度:對于156x156x400mm標準晶錠,,<4分鐘
◆生產(chǎn)改善:1mm切割標準為156x156x400mm標準晶錠
◆質(zhì)量控制:用于過程和材料的質(zhì)量監(jiān)控,,如單晶硅或多晶硅
◆污染測定:起源于爐和設(shè)備的金屬(Fe)
◆可靠性:模塊化和堅固耐用的工業(yè)儀器,更高的可靠性和運行時間> 99%
◆可重復(fù)性:> 99.5%
◆電阻率:不需要經(jīng)常校準

精密材料研發(fā)

鐵濃度測定


陷阱濃度測定

硼氧測定

依賴于注入的測量等

特性


*無觸點無破壞的半導(dǎo)體特性
特殊的“表面之下”壽命測量技術(shù)
不可見缺陷的 靈敏度的可視化
自動切割標準定義
空間分辨p/n電導(dǎo)型變換檢測

 

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