目錄:上海昊量光電設備有限公司>>專用實驗設備>>實驗系統(tǒng)>> 空氣軸承系統(tǒng)——ALIO納米級高精度運動系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,綜合 |
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ALIO Industries推出了6-D Nano Positioning®空氣軸承運動系統(tǒng),，6-D指運動的6個維度,；線性,，直線度,，平面度，俯仰,，偏航和滾動,。Nano Precision 指的是在 +/- 450 nm 水平或以下的性能證明文件。6-D Nano Precision® 是指在納米級精度下運動的身體的所有 6 個自由度的性能證明文件,?？諝廨S承系統(tǒng)適用于制造、檢測/維修和計量等各種應用領域,。ALIO Industries空氣軸承運動系統(tǒng),，是一種用氣浮導軌或空氣軸承做支撐的精密運動裝置，適用于下一代TRUE NANO®精密應用,?？諝廨S承系統(tǒng)提供出色的定位性能，適用于高精度要求的應用,?？諝廨S承系統(tǒng)適用于多個行業(yè)，包括光伏,、半導體,、噴墨沉積、光刻和光學檢測等領域,。
零摩擦和無振動的平滑移動
速度穩(wěn)定超高精度的移動
運動不產(chǎn)生顆粒,，適用于無塵環(huán)境
軸承損耗低，表面不易損壞
由于兩個軸都使用相同的高精度花崗巖底座作為參考,，因此可以在數(shù)百毫米（甚至米）的行程范圍內(nèi)實現(xiàn)僅一微米的平面度,。
這種高剛性平面 xy 空氣軸承運動系統(tǒng)系列提供亞微米精度和 +/- 100 納米雙向可重復性，即使在批量機器的批量生產(chǎn)中也是如此生產(chǎn),。憑借 200 毫米至 800 毫米的標準版本,，以及可定制超過 3 米的 X 和 Y 行程，該產(chǎn)品系列在任何類型的測量/計量應用和半導體行業(yè)中都具有True Nano®精度,。
強大的線性直接驅動器和空氣軸承使這些運動系統(tǒng)非常適合高精度,、高吞吐量的應用,，這些應用需要平滑的連續(xù)掃描或非常長距離的快速步進和穩(wěn)定過程。
ALIO 的直線電機驅動,、帶空氣軸承平衡的垂直 Z 升降平臺系列的特點是外形低矮且行程極長,。使用高精度交叉滾子軸承和線性編碼器，平臺配備無摩擦空氣軸承氣缸,。與 GeoSymmetric 系列平臺類似,，這些長行程 Z 平臺具有配重、電機,、軸承和編碼器,，所有這些都放置在平臺的大致中心線上。有效負載可以直接安裝到舞臺的表面,。
Z-ABCB 系列——配備無摩擦空氣軸承氣缸平衡裝置——可在 200 毫米或以上承載高達 25 公斤的有效載荷,。
當需要很高的旋轉精度時，制造商可以從 ALIO 的空氣軸承旋轉平臺系列中進行選擇,?？諝廨S承允許載物臺在沒有機械接觸的情況下移動，因此移動無摩擦且無磨損,。即使在高速或旋轉平臺垂直安裝時,，擺動、偏心或跳動等誤差也盡可能消除,，以接近平滑的 360 度運動,。
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