目錄:上海昊量光電設(shè)備有限公司>>專用實驗設(shè)備>>光刻機>> SMART PRINT UVDMD無掩膜光刻機
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
|---|---|---|---|
| 主要特性 | 兼容i、h、g線光刻膠 |
DMD無掩膜光刻機
DMD無掩膜光刻機SMART PRINT UV是一種基于DMD投影技術(shù)的無掩模光刻設(shè)備,，可兼容多種電阻和基片,。SMART PRINT UV可以生產(chǎn)任何微米分辨率的二維形狀,，而不需要硬掩模。基于改進后的標(biāo)準投影技術(shù),，投影出具有微米分辨率的圖像,，無掩膜光刻機SmartPrint無需任何進一步步驟，就能直接從數(shù)字掩模光刻出您要的圖,。無掩膜光刻機SmartPrint主要應(yīng)用是微流體,，生物技術(shù)和微電子等領(lǐng)域光刻表面微納圖案。
DMD無掩膜光刻機主要特性：
兼容i,、h,、g線光刻膠
SmartPrint-UV配備了385 nm LED源，以兼容標(biāo)準i, h和g線光刻膠,，如SU8或AZ®1500系列
適用于各種各樣的基材
我們的物鏡范圍經(jīng)過精心選擇,，具有較長的工作距離(高達3厘米)，使SP-UV成為一種非接觸式技術(shù),，因此兼容非標(biāo)準基材(非平的,，靈活的，厚的),。
可調(diào)直寫范圍和分辨率——用戶可獲得四種不同的直寫分辨率
最優(yōu)直寫分辨率1.5um
兼容任何尺寸的樣品,，最大5平方英寸
對齊方式直觀——反饋相機與第二束590nm準直光源疊加使用
體積小，性價比高
DMD無掩膜光刻機應(yīng)用領(lǐng)域：
光器件 微流控 微電子
DMD無掩膜光刻機指標(biāo)參數(shù)：
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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