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納米平移臺(tái)（壓電馬達(dá)型，10-1500mm行程）

XLS系列線性位移平臺(tái),，是由超聲波壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng),，可提供不同行程的精確定位。由于采用超聲波壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng),，速度可達(dá)到200mm/s,，并且該平臺(tái)非常適用于掃描，可提供恒定的掃描速度,，速度不穩(wěn)定性低于2%,。

該平臺(tái)采用超聲波馬達(dá)，對于這種馬達(dá)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)是通過接觸點(diǎn)的橢圓振蕩產(chǎn)生,。如下圖所示。通過橢圓的振蕩推動(dòng)平臺(tái)產(chǎn)生微小移動(dòng),，并通過高頻率產(chǎn)生*的速度,，并且沒有噪聲，電機(jī)在定位后可產(chǎn)生自鎖,，由于馬達(dá)在橢圓振蕩的上端才會(huì)與平臺(tái)接觸,，大大提高平臺(tái)的使用壽命通常在10-100km,。

XLS系列平臺(tái)可提供不同的行程，行程范圍可達(dá)到100mm,。為了適應(yīng)不同精度要求的應(yīng)用,，平臺(tái)集成不同精度的位置傳感器，目前可提供的位置傳感器有1.25μm,；330nm,；78nm和1nm具體參數(shù)如下圖所示：

此外根據(jù)不同應(yīng)用可以選擇不同行程的平臺(tái)，可提供平臺(tái)行程參數(shù)如下：

此外,，由于該平臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì),，可以組成多維位移平臺(tái)，例如：XY;XYZ,XYQ等,。并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺(tái),。

主要特點(diǎn)：

l  大行程 （100mm）

l  高精度（25nm）

l  高速度（100mm/s）

l  支持?jǐn)嚯娮枣i

l  可在真空和非磁環(huán)境

主要應(yīng)用：

l  光電子學(xué)

l  掃描電子顯微鏡

l  半導(dǎo)體生產(chǎn)

l  醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)

l  生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)

l  顯微鏡和計(jì)量學(xué)

納米平移臺(tái)（壓電馬達(dá)型，10-1500mm行程）