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單軸壓電掃描臺/納米平移臺

AU-NPS-X系列納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅(qū)動,，以柔性鉸鏈為運動副,，使其具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小,、無機械摩擦,、定位分辨率高等優(yōu)點。全行程采用電容位移傳感器閉環(huán)反饋設(shè)計,，精度可達到亞納米量級,。結(jié)合數(shù)字閉環(huán)控制器，納米定位工作臺的響應(yīng)時間和穩(wěn)定時間可達到毫秒量級,。

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單軸壓電掃描臺/納米平移臺

AU-NPS-X系列納米定位工作臺zui初的設(shè)計是為了滿足超快速度和超精密的應(yīng)用。納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅(qū)動,，以柔性鉸鏈為運動副,，使其結(jié)構(gòu)緊湊、擁有小的體積,、無摩擦,、無間隙、定位分辨率高等優(yōu)點,。

全行程采用電容位移傳感器閉環(huán)反饋控制系統(tǒng)設(shè)計,，電容位移傳感器是將位移變化轉(zhuǎn)換為電容電量信號的變化。電容位移傳感器簡單易用,，而且擁有*的精度,，可達到亞納米量級,。結(jié)合數(shù)字閉環(huán)控制器,，納米定位工作臺的響應(yīng)時間和穩(wěn)定時間可達到毫秒量級,。低的移動質(zhì)量和高的剛度結(jié)合可以提供非常高的帶寬。

對于大行程的納米定位臺,，采用目前業(yè)內(nèi)zui*的雙傳感技術(shù)與以往相比可以提供更快的響應(yīng)速度,，提高有效載荷出現(xiàn)變化時的穩(wěn)定性和更高的帶寬。這項突破性的技術(shù)能夠應(yīng)用于各種袖珍模擬和數(shù)字控制器,，其操作簡便,，為用戶提供*性能。

公司的一維納米定位工作臺主要包含以下幾款產(chǎn)品：

①超緊湊型閉環(huán)亞納米微動臺

AU-NPS-X-5A是一款已推出市面上體積zui小的閉環(huán)一微亞納米級別的微動臺,。體積只有23 x 16.5 x 7.6 mm（長´寬´高）,。應(yīng)用電容位移傳感器，位移分辨率達到亞納米級別,?？蛰d下的自振頻率更是高達8000HZ。采用鋁合金材質(zhì),，其擁有較輕的質(zhì)量和高的剛度,，使其有高的帶寬，在zui大負載的情況下響應(yīng)時間可達到亞毫秒級別,。

②超快一維亞納米定位平臺

AU-NPS-X-10A是一款超快的一維亞納米微動臺,，用于高速的、超精密的應(yīng)用,。該設(shè)備在空載下的自振頻率高達9500HZ,。在7g負載的情況下仍可達到8700HZ。并且該產(chǎn)品具有良好的位置重復(fù)性,。擁有良好的響應(yīng)速度,，響應(yīng)時間達到毫秒量級。并且該款產(chǎn)品可按照不同需求進行工業(yè)定制,。

③超大行程的一維納米微動臺

AU-NPS-X-500A采用壓電陶瓷直推驅(qū)動,，以柔性鉸鏈為運動副，使其具有較緊湊的體積,，使用電容傳感器,，在整個行程中分辨率精度可高達亞納米級別。使用雙傳感設(shè)計,，可提供更快的階躍響應(yīng),，提高有效載荷出現(xiàn)變化時的穩(wěn)定性，并擁有更大的帶寬,，使其擁有更快的響應(yīng)時間,。

④高負載大推力一維亞納米微動臺

AU-NPS-X-30B是一款高負載的微動臺，zui高負載可高達10kg。其擁有極寬的帶寬高達1KHZ,?？蛰d下的自振頻率更是高達5000HZ。

除了以上幾款產(chǎn)品AU-NPS-X-15A/15D這兩款亞納米一維微動臺也擁有優(yōu)異的性能,。外加負載可高達5kg,。擁有較高的帶寬，在50g負載的情況下,，響應(yīng)時間可達毫秒量級,。AU-NPS-X-15D和AU-NPS-X-15A屬于相同型號，但是具有更高的高度（15.5mm）,，因此擁有更高的剛度,，因此具有較寬的帶寬、較低的穩(wěn)定時間和較高的自振頻率,。

u  主要特點

• 亞納米的分辨率

• 高的帶寬

• 高速響應(yīng)

• 高的可靠性

• 結(jié)構(gòu)緊湊

• 壓電陶瓷驅(qū)動

• 柔性鉸鏈設(shè)計

• 電容位移傳感器閉環(huán)反饋

u  主要應(yīng)用

  磁頭和磁盤驅(qū)動測試,、計量學(xué)、干涉度量學(xué),、原子力顯微鏡等

u  產(chǎn)品主要參數(shù)