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變溫/高低溫探針臺
變溫微探針臺是在不同溫度下為半導(dǎo)體材料提供測量的設(shè)備,。該平臺使用焦耳-湯姆遜可以為樣品70-730K廣泛的變溫范圍,,利用溫度控制器使展現(xiàn)的溫度穩(wěn)定性和重復(fù)性,,控溫精度可達到±0.1K,,分辨率可達到0.01K,,并對溫度變化有極快的響應(yīng)速度,。該設(shè)備可靈活選擇微探針的數(shù)量,zui多可提供7個探針,,每個探針可完成三維空間的運動,,X/Y/Z行程分別為25 mm x 25 mm x 6 mm精度可達到50微米。真空探針臺
變溫/高低溫探針臺
變溫微探針系統(tǒng),、變溫微探針平臺,、低溫微探針平臺,變溫探針臺,,低溫探針臺,,控溫探針臺,溫控探針臺,,半導(dǎo)體測試探針臺,,高低溫探針臺,真空探針臺
變溫微探針臺(高低溫探針臺)是在不同溫度下(70K-730K)為半導(dǎo)體材料(例如砷化鎵,、非晶硅,、碲鎘汞等)提供測量的設(shè)備。該平臺可提供精確的溫度控制和無振動無噪聲的工作環(huán)境,。該設(shè)備可提供1到7個不同的探針數(shù)量,,每個探針可在X,Y,Z三個坐標(biāo)軸上獨立的運動??梢远ㄎ辉?/span>10´12mm的樣品上的任何位置,,精度可達到50mm提供可以執(zhí)行各種測量和實驗的平臺,例如電特性和深層瞬態(tài)光譜,。
該系統(tǒng)使用焦耳-湯姆遜溫度平臺提供不同的溫度,,可提供室溫 (300K) 、70K 到580K,、300K 到730K幾種不同的溫控范圍,。使用AUK2000溫度控制器可提供的溫度穩(wěn)定性和重復(fù)性,,控溫精度可達到±0.1K,分辨率可達到0.01K,,并對溫度變化有極快的響應(yīng)速度,。
變溫微探針臺系統(tǒng)可以有多個選項自頂向下光學(xué)元件、渦輪泵,、傳輸窗口,、光纖探針操縱器、精密儀器防震臺等,。為實驗室提供廣泛的實驗?zāi)芰蜋C會,。
u 主要特點
u 主要應(yīng)用
光學(xué)實驗,、深層瞬態(tài)光譜研究,、微操作、電器測量,、光纖光學(xué)探頭照明和光學(xué)研究、材料研究,、IC測試,、紅外探測器測試、微機電系統(tǒng)等,。
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