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190-400nm紫外波段SID4 UV-HR免費(fèi)試用!
紫外波段SID4 UV-HR免費(fèi)試用
Phasics波前傳感器以橫向四波剪切技術(shù)聞名,其推出的SID4系列波前傳感器以高靈敏度,、高分辨率,、高重復(fù)性的特點(diǎn)更受市場(chǎng)青睞,昊量光電推出免費(fèi)試用-紫外波段SID4-UV HR樣機(jī)活動(dòng),,為190nm-400nm紫外波段科研方向研發(fā)助助力,,為中國(guó)工業(yè)提提速!
PHASICS成立于2003年,,提供zui先jin的光學(xué)計(jì)量和成像解決方案,,從獨(dú)立的SID4波前傳感器到全自動(dòng)測(cè)試臺(tái)、Kaleo MTF,、MultiWAVE,,以及全模塊化計(jì)量解決方案Kaleo Kit。PHASICS獲得專li的波前傳感技術(shù)被稱為四波橫向剪切干涉術(shù)(QWLSI),。
相位四波橫向剪切干涉儀,,稱為SID4波前傳感器,QWLSI技術(shù)是為了克服Shack-Hartmann (SH)技術(shù)的分辨率不足而開發(fā)的,。它采用了智能衍射光柵設(shè)計(jì),而不是哈特曼測(cè)試中使用的孔和夏克在20世紀(jì)60年代提出的微透鏡,。
圖1 SID4波前傳感器部分測(cè)試結(jié)果圖
★什么是波前傳感器?
波前傳感器是一種設(shè)計(jì)用來(lái)測(cè)量光波前的裝置,。術(shù)語(yǔ)“波前傳感器";適用于不需要任何參考光束干擾的波前測(cè)量?jī)x器,。波前傳感器的應(yīng)用范圍很廣,如光學(xué)測(cè)試和對(duì)準(zhǔn)(表面測(cè)量),、傳輸波前誤差測(cè)量,、調(diào)制。
★QWLSI四波橫向剪切干涉測(cè)量原理
四波橫向剪切干涉測(cè)量(QWLSI原理) 具有納米級(jí)靈敏度和高分辨率的相位和強(qiáng)度,。這項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)依靠衍射光柵將入射光束復(fù)制成4個(gè)相同的波,。經(jīng)過(guò)幾毫米的傳播,4個(gè)波紋重疊并干涉,,在檢測(cè)器上產(chǎn)生干涉圖,。
★QWLSI四波橫向剪切干涉技術(shù)優(yōu)勢(shì)
四波橫向剪切干涉測(cè)量技術(shù)(QWLSI),也被稱為改進(jìn)哈特曼掩模技術(shù),,是一種獲得專li的波前傳感技術(shù),。它以其高空間分辨率,無(wú)需中繼透鏡即可測(cè)量發(fā)散光束的能力和消色差而脫穎而出,。該技術(shù)于2004年由Phasics在市場(chǎng)上推出,,現(xiàn)在因其性能和易于集成而獲得國(guó)際認(rèn)可。
★SID4 UV HR紫外波前傳感器特點(diǎn)
在190nm ~ 400nm的紫外波段,SID4 UV HR波前分析儀具備高分辨率(512x512測(cè)量點(diǎn))和高靈敏度,。使用范圍包括并不局限適用于光學(xué)元件表征(光刻,、半導(dǎo)體)和表面測(cè)量(透鏡和晶圓)。
★SID4 UV HR紫外波前傳感器參數(shù)
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