Microlight3D是一家生產(chǎn)用于工業(yè)和科學(xué)應(yīng)用的高分辨率微尺度2D和3D打印系統(tǒng)的專業(yè)制造商,。智能UV打印(SP-UV)系統(tǒng)，是該公司新產(chǎn)品。這是一種配有一個385 nm的紫外LED光源,，基于DMD（Digital Micromirror Device）的全新無掩模光刻系統(tǒng),，因此SP-UV可以兼容所有標(biāo)準(zhǔn)的微電子光刻膠，包括微流體應(yīng)用中*的i-line光阻劑SU-8,。這一特點為半導(dǎo)體加工領(lǐng)域的開發(fā)人員,，在光刻膠材料的選擇上提供了更加廣闊的空間。
DMD無掩膜光刻機(jī)SP-UV的優(yōu)勢之一是對DMD光學(xué)投影技術(shù)的應(yīng)用,。這一技術(shù)在提高直寫精度和速度的同時,，提供了四種不同的直寫分辨率。搭配Microlight3D的“快速切換"物鏡系統(tǒng),，僅需2秒就能完成分辨率切換,。
Microlight3D執(zhí)行官Denis Barbier表示:“Microlight3D的SP-UV技術(shù)可以與更廣泛光刻膠材料相兼容。在為無掩模光刻的應(yīng)用開拓了新的領(lǐng)域的同時,，滿足了開發(fā)人員對多功能性和可負(fù)擔(dān)性的需求,。"“我們使芯片實驗室和其他領(lǐng)域(光電子學(xué)、MEMS,、自旋電子學(xué))的研究人員可以更容易,、更快速地在較大表面積上(120x120 mm2)，加工微米分辨率的復(fù)雜結(jié)構(gòu),。由于該系統(tǒng)集成度非常高,，使各種用戶都可以無障礙的使用，我們也因此希望SP-UV在微流體以及各個領(lǐng)域中的小批量生產(chǎn)上開辟新的市場機(jī)會,。"
無掩膜光刻機(jī)SP-UV的另一大優(yōu)勢是具備精心挑選的物鏡焦距范圍,，以允許較長工作距離(可達(dá)3厘米)。這意味著SP-UV可以用于非標(biāo)準(zhǔn)基底,，包括那些彎曲（比如光學(xué)鏡片）,、柔性或者較厚的。而競品機(jī)型的工作距離通常較短,，在處理非平坦基底時非常困難。
無掩膜光刻機(jī)SP-UV的385nm紫外光源配有一個反饋相機(jī),，使聚焦更容易,，并同時用于檢查和校準(zhǔn)。作為一種新的投影技術(shù),，385nm的LED光源與高性能電動位移臺相結(jié)合,，使開發(fā)人員能夠在微米分辨率的水平上 進(jìn)行快速微結(jié)構(gòu)制造。
該系統(tǒng)配套的高性能電動位移臺,，提高了準(zhǔn)精度的同時,，也降低了拼接誤差。設(shè)備核心被封裝在具有紫外線保護(hù)的包裝的空間內(nèi)，使其可以在通常環(huán)境下安全使用,。
無掩膜光刻機(jī)SP-UV可以達(dá)到目前直寫速度等級(高達(dá)1000mm2/min),；當(dāng)分辨率為6μm時，其速度是其他品牌類似產(chǎn)品的兩倍,，而當(dāng)分辨率為15μm時,，其速度可達(dá)其他品牌類似產(chǎn)品的10倍。
關(guān)于生產(chǎn)商：
Microlight3D是高分辨率 微尺度 2D和3D打印系統(tǒng)的專業(yè)制造商,。Microlight3D致力于滿足科學(xué)家和工業(yè)研究人員新的設(shè)計加工需求,，以及高精度生產(chǎn)任何幾何或非幾何形狀的微型零件。通過結(jié)合2D和3D微納打印技術(shù),，Microlight3D為客戶提供了制造更大尺寸復(fù)雜部件的靈活性,。它的目標(biāo)是為未來的新興領(lǐng)域提供更快、更復(fù)雜的微型制造系統(tǒng),。Microlight3D的設(shè)備現(xiàn)用于微光學(xué),、微流體、微機(jī)器人,、超材料,、細(xì)胞生物學(xué)和微電子學(xué)等。
Microlight3D在2016年成立于法國格勒諾布爾,，在Grenoble Alpes大學(xué)(UGA)進(jìn)行了超過15年的3D微納打印技術(shù)研發(fā),。
上海昊量光電作為Microlight3D在中國大陸地區(qū)大的代理商，為您提供專業(yè)的選型以及技術(shù)服務(wù),。對于Microlight3D有興趣或者任何問題,，都?xì)g迎通過電話、電子郵件與我們聯(lián)系,。
如果您對DMD無掩膜光刻機(jī)有興趣,，請訪問上海昊量光電的網(wǎng)頁
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