Microlight3D是一家生產(chǎn)用于工業(yè)和科學應用的高分辨率微尺度2D和3D打印系統(tǒng)的專業(yè)制造商,。智能UV打印(SP-UV)系統(tǒng)，是該公司新產(chǎn)品,。這是一種配有一個385 nm的紫外LED光源,，基于DMD（Digital Micromirror Device）的全新無掩模光刻系統(tǒng)，因此SP-UV可以兼容所有標準的微電子光刻膠,，包括微流體應用中*的i-line光阻劑SU-8,。這一特點為半導體加工領(lǐng)域的開發(fā)人員，在光刻膠材料的選擇上提供了更加廣闊的空間,。
DMD無掩膜光刻機SP-UV的優(yōu)勢之一是對DMD光學投影技術(shù)的應用,。這一技術(shù)在提高直寫精度和速度的同時，提供了四種不同的直寫分辨率,。搭配Microlight3D的“快速切換"物鏡系統(tǒng),，僅需2秒就能完成分辨率切換。
Microlight3D執(zhí)行官Denis Barbier表示:“Microlight3D的SP-UV技術(shù)可以與更廣泛光刻膠材料相兼容,。在為無掩模光刻的應用開拓了新的領(lǐng)域的同時,，滿足了開發(fā)人員對多功能性和可負擔性的需求。"“我們使芯片實驗室和其他領(lǐng)域(光電子學,、MEMS,、自旋電子學)的研究人員可以更容易、更快速地在較大表面積上(120x120 mm2),，加工微米分辨率的復雜結(jié)構(gòu),。由于該系統(tǒng)集成度非常高，使各種用戶都可以無障礙的使用,，我們也因此希望SP-UV在微流體以及各個領(lǐng)域中的小批量生產(chǎn)上開辟新的市場機會,。"
無掩膜光刻機SP-UV的另一大優(yōu)勢是具備精心挑選的物鏡焦距范圍，以允許較長工作距離(可達3厘米),。這意味著SP-UV可以用于非標準基底,，包括那些彎曲（比如光學鏡片）、柔性或者較厚的,。而競品機型的工作距離通常較短,，在處理非平坦基底時非常困難。
無掩膜光刻機SP-UV的385nm紫外光源配有一個反饋相機,，使聚焦更容易,，并同時用于檢查和校準。作為一種新的投影技術(shù),，385nm的LED光源與高性能電動位移臺相結(jié)合,，使開發(fā)人員能夠在微米分辨率的水平上 進行快速微結(jié)構(gòu)制造,。
該系統(tǒng)配套的高性能電動位移臺，提高了準精度的同時,，也降低了拼接誤差。設(shè)備核心被封裝在具有紫外線保護的包裝的空間內(nèi),，使其可以在通常環(huán)境下安全使用,。
無掩膜光刻機SP-UV可以達到目前直寫速度等級(高達1000mm2/min)；當分辨率為6μm時,，其速度是其他品牌類似產(chǎn)品的兩倍,，而當分辨率為15μm時，其速度可達其他品牌類似產(chǎn)品的10倍,。
關(guān)于生產(chǎn)商：
Microlight3D是高分辨率 微尺度 2D和3D打印系統(tǒng)的專業(yè)制造商,。Microlight3D致力于滿足科學家和工業(yè)研究人員新的設(shè)計加工需求，以及高精度生產(chǎn)任何幾何或非幾何形狀的微型零件,。通過結(jié)合2D和3D微納打印技術(shù),，Microlight3D為客戶提供了制造更大尺寸復雜部件的靈活性。它的目標是為未來的新興領(lǐng)域提供更快,、更復雜的微型制造系統(tǒng),。Microlight3D的設(shè)備現(xiàn)用于微光學、微流體,、微機器人,、超材料、細胞生物學和微電子學等,。
Microlight3D在2016年成立于法國格勒諾布爾,，在Grenoble Alpes大學(UGA)進行了超過15年的3D微納打印技術(shù)研發(fā)。
上海昊量光電作為Microlight3D在中國大陸地區(qū)大的代理商,，為您提供專業(yè)的選型以及技術(shù)服務,。對于Microlight3D有興趣或者任何問題，都歡迎通過電話,、電子郵件與我們聯(lián)系,。
如果您對DMD無掩膜光刻機有興趣，請訪問上海昊量光電的網(wǎng)頁
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