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 光譜儀基礎(chǔ)知識(shí)介紹(昊量光電)

      什么是光譜儀,？光與物質(zhì)相互作用引起物質(zhì)內(nèi)部原子及分子能級(jí)間的電子躍遷,，使物質(zhì)對(duì)光的吸收、發(fā)射,、散射等在波長及強(qiáng)度信息上發(fā)生變化,，而檢測并處理這類變化的儀器被稱為光譜儀。因此,，光譜儀的基本功能,，就是將復(fù)色光在空間上按照不同的波長分離/延展開來，配合各種光電儀器附件得到波長成分及各波長成分的強(qiáng)度等原始信息以供后續(xù)處理分析使用,。

    光譜分析方法作為一種重要的分析手段,，在科研、生產(chǎn),、質(zhì)控等方面,，都發(fā)揮著極大的作用。無論是穿透吸收光譜,，還是熒光光譜,，拉曼光譜,，如何獲得單波長輻射是*的手段。由于現(xiàn)代單色儀可具有很寬的光譜范圍(UV- IR),，高光譜分辨率(到0.001nm),自動(dòng)波長掃描,，完整的電腦控制功能極易與其他周邊設(shè)備融合為高性能自動(dòng)測試系統(tǒng)，使用電腦自動(dòng)掃描多光柵單色儀已成為光譜研究的,。
      當(dāng)一束復(fù)合光線進(jìn)入單色儀的入射狹縫,，首先由光學(xué)準(zhǔn)直鏡匯聚成平行光，再通過衍射光柵色散為分開的波長(顏色),。利用每個(gè)波長離開光柵的角度不同,，由聚焦反射鏡再成像出射狹縫。通過電腦控制可地改變出射波長,。

●光柵單色儀重要參數(shù)：
◆分辨率
    光柵單色儀的分辨率R是分開兩條臨近譜線能力的度量,，根據(jù)羅蘭判據(jù)為：
                                 R=λ/Δλ
    光柵光譜儀中有實(shí)際意義的定義是測量單個(gè)譜線的半高寬(FWHM)。實(shí)際上,，分辨率依賴于光柵的分辨本領(lǐng),、系統(tǒng)的有效焦長、設(shè)定的狹縫寬度,、系統(tǒng)的光學(xué)像差以及其它參數(shù),。
                                 R∝ M·F/W
                     M-光柵線數(shù) F-譜儀焦距 W-狹縫寬度
◆色散
    光柵光譜儀的色散決定其分開波長的能力。光譜儀的倒線色散可計(jì)算得到：沿單色儀的焦平面改變距離χ引起波長λ的變化,，即：
                              Δλ/Δχ=dcosβ/mF
    這里d,、β、F分別是光柵刻槽的間距,、衍射角和系統(tǒng)的有效焦距,，m為衍射級(jí)次。由方程可見,，倒線色散不是常數(shù),，它隨波長變化。在所用波長范圍內(nèi),，變化可能超過2倍,。根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)，在本樣本中,，用1200l/mm光柵色散的中間值(典型的為435.8nm)時(shí)的倒線色散,。

◆帶寬
    帶寬是忽略光學(xué)像差、衍射,、掃描方法,、探測器像素寬度、狹縫高度和照明均勻性等,，在給定波長,，從光譜儀輸出的波長寬度,。它是倒線色散和狹縫寬度的乘積。例如,，單色儀狹縫為0.2mm,，光柵倒線色散為2.7nm/mm，則帶寬為2.7×0.2=0.54nm,。
◆波長精度,、重復(fù)性和準(zhǔn)確度
    波長精度是光譜儀確定波長的刻度等級(jí),，單位為nm,。通常，波長精度隨波長變化,。
    波長重復(fù)性是光譜儀返回原波長的能力,。這體現(xiàn)了波長驅(qū)動(dòng)機(jī)械和整個(gè)儀器的穩(wěn)定性。  
    昊量光電的光譜儀的波長驅(qū)動(dòng)和機(jī)械穩(wěn)定性,，其重復(fù)性超過了波長精度,。
    波長準(zhǔn)確度是光譜儀設(shè)定波長與實(shí)際波長的差值。每臺(tái)單色儀都要在很多波長檢查波長準(zhǔn)確度,。
◆F/#
    F/#定義為焦距(f)與光譜儀內(nèi)有效光學(xué)元件zui小通光孔徑(D)的比值,。光通過效率與F/#的平方成反比，F(xiàn)/#愈小,，光通過率愈高,。

關(guān)于光柵

     光柵作為重要的分光器件，它的選擇與性能直接影響整個(gè)系統(tǒng)性能,。

光柵分為刻劃光柵,、復(fù)制光柵、全息光柵等,?？虅澒鈻攀怯勉@石刻刀在涂薄金屬表面機(jī)械刻劃而成；復(fù)制光柵是用母光柵復(fù)制而成,。典型刻劃光柵和復(fù)制光柵的刻槽是三角形,。全息光柵是由激光干涉條紋光刻而成。全息光柵通常包括正弦刻槽,?？虅澒鈻啪哂醒苌湫矢叩奶攸c(diǎn)，全息光柵光譜范圍廣,，雜散光低,，且可作到高光譜分辨率。

◆如何選擇光柵
選擇光柵主要考慮如下因素：
    1,、光柵刻線,，光柵刻線多少直接關(guān)系到光譜分辨率,，刻線多光譜分辨率高，刻線少光譜覆蓋范圍寬,，兩者要根據(jù)實(shí)驗(yàn)靈活選擇,；

    2、閃耀波長,，閃耀波長為光柵zui大衍射效率點(diǎn),，因此選擇光柵時(shí)應(yīng)盡量選擇閃耀波長在實(shí)驗(yàn)需要波長附近。如實(shí)驗(yàn)為可見光范圍,，可選擇閃耀波長為500nm,；
    3、使用范圍,，
    3,、光柵效率，光柵效率是衍射到給定級(jí)次的單色光與入射單色光的比值,。光柵效率愈高,，信號(hào)損失愈小。為提高此效率,，除提高光柵制作工藝外,，還采用特殊鍍膜，提高反射效率,。

◆光柵方程
    反射式衍射光柵是在襯底上周期地刻劃很多微細(xì)的刻槽,，一系列平行刻槽的間隔與波長相當(dāng)，光柵表面涂上一層高反射率金屬膜,。光柵溝槽表面反射的輻射相互作用產(chǎn)生衍射和干涉,。對(duì)某波長，在大多數(shù)方向消失,，只在一定的有限方向出現(xiàn),，這些方向確定了衍射級(jí)次。如圖1所示,，光柵刻槽垂直輻射入射平面,，輻射與光柵法線入射角為α，衍射角為β,，衍射級(jí)次為m,，d為刻槽間距，在下述條件下得到干涉的極大值：Mλ=d(sinα+sinβ)
    定義φ為入射光線與衍射光線夾角的一半,，即φ=(α-β)/2,；θ為相對(duì)于零級(jí)光譜位置的光柵角，即θ=(α+β)/2,得到更方便的光柵方程：
mλ=2dcosφsinθ
從該光柵方程可看出：
    對(duì)一給定方向β，可以有幾個(gè)波長與級(jí)次m相對(duì)應(yīng)λ滿足光柵方程,。比如600nm的一級(jí)輻射和300nm的二級(jí)輻射,、200nm的三級(jí)輻射有相同的衍射角，這就是為什么要加消二級(jí)光譜濾光片輪的意義,。
    衍射級(jí)次m可正可負(fù),。
    對(duì)相同級(jí)次的多波長在不同的β分布開。
    含多波長的輻射方向固定,，旋轉(zhuǎn)光柵,，改變α，則在α+β不變的方向得到不同的波長,。

◆倒線色散和光譜帶寬對(duì)照表

 ◆光柵型號(hào)規(guī)格對(duì)照表

 ◆典型光柵效率曲線圖