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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子 |
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專為超大納米平板顯示器測量而設計的自動化原子力顯微鏡（AFM）系統(tǒng)
隨著對大型平板顯示器原子力顯微鏡計量需求的增加，Park NX-TSH 通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺的結合,，克服了針對大型和重型樣品進行納米計量的巨大挑戰(zhàn),。Park NX-TSH能獲得高分辨率的表面粗糙度測量，臺階高度測量和關鍵尺寸測量,。
為OLED面板行業(yè)整片測量,，超高尺寸鏡片測量，提供全自動的原子力顯微鏡計量解決方案,。
專為OLED面板行業(yè)整片測量，LCD測量提供的全自動探針掃描器解決方案
專為新一代顯示器工廠的應用需求研發(fā)設計
Park原子力顯微鏡公司已經擴展了原子力顯微鏡設備的測量尺寸,，Park NX-TSH（龍門架設計平板式探針掃描器）可針對第八代及大于第八代的所有大型平板顯示器進行測量,。專為新一代顯示器工廠的應用需求研發(fā)設計，*大樣品尺寸可以測2200 mm,。
硅片直徑的變化
使用導電原子力顯微鏡,，Park NX-TSH 使用可選探針站測量樣品表面，該探針站接觸樣品表面并向小設備或晶圓片上的設備提供電流,。Park NX-TSH用于帶有導電原子力顯微鏡的2D編碼器樣品,，通過集成微探針站進行電氣缺陷分析。
Park NX-TSH特點
克服了樣品大小和重量的限制,。
Park原子力顯微鏡公司新開發(fā)的探針掃描器結合了X,、Y和Z掃描器，可以直接移動到所需測量的點,。Park NX-TSH可以在X, Y和Z方向掃描探針頭,，X- Y方向可達到100µm X 100 μm和Z方向可達到15 μm ，并有靈活的卡盤,，以適應超過300毫米的超大超重樣品,，用于OLED和LCD大樣品分析,。 樣品固定在樣品卡盤上，連接在機架上的探針掃描頭移動到樣品表面的測量位置,。 Park NX-TSH的探針掃描頭系統(tǒng)因此克服了樣品固定在樣品卡盤上時候樣品大小和重量的限制,。
專為*新一代顯示器工廠的應用需求研發(fā)設計，*大樣品尺寸可以測到2200 mm.
Park NX-TSH 通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺的結合,，克服了針對大型和重型樣品進行納米計量的巨大挑戰(zhàn),，可掃描出高分辨率圖像。
具有閉環(huán)雙伺服系統(tǒng)的100μmx 100μm柔性導向XY掃描器
XY掃描器由對稱的二維撓曲和高強度壓電疊層組成,，它*小化的面外運動能提供高度的正交掃描,，用*快的響應來完成納米尺度上精確樣品掃描。XY 掃描器的每個方向是都裝有兩個對稱的低噪聲位置傳感器,，在*大的掃描范圍及大樣品掃描時能發(fā)揮高效的正交性,。
具有低噪聲位置傳感器的15μm高速Z掃描器
NX-TSH利用其超低噪聲Z檢測器代替了通常使用的非線性Z電壓信號，可為用戶提供高精度測量,。低噪聲Z檢測器取代了所施加的Z電壓作為形貌信號,。 標準Z掃描器由高強度壓電堆驅動，并由撓曲結構引導,，具有高共振頻率,，可以實現(xiàn)更準確的反饋。使用可選的長距離Z掃描儀,，*大Z掃描范圍可從15μm擴展到40μm,。
自動測量控制，簡易操作測量更精準,！
NX-TSH配備自動化軟件,，使用測量程序便可獲得精確的多點分析，并對懸臂梁調諧,、掃描速率,、增益和設定點參數進行優(yōu)化設置。
Park人性化設計的軟件可使用戶自由訪問NX-TSH的全部功能并獲得所需的測量值,。
創(chuàng)建新的測量程序其實很簡單,，從開始創(chuàng)建到能夠自動化運行只需大約10分鐘的時間，而對創(chuàng)建過的程序進行修改的話也只需不到5分鐘,。
Park NX-TSH的全自動特征:
• 自動,，半自動，手動模式三種模式隨時切換控制
• 提供自動化程序的編輯方法
• 實時監(jiān)控測量過程
• 自動分析所獲得的測量數據
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