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Park XE15具有眾多的*功能,，是處理多種樣品的共享實(shí)驗(yàn)室,、進(jìn)行多變量實(shí)驗(yàn)的研究院以及晶片故障分析工程師的*,。同時(shí)，合理的價(jià)格和穩(wěn)健的功能使之成為業(yè)內(nèi)最*的大型樣品原子力顯微鏡之一,。

Park XE15能夠一次性掃描和測(cè)量多個(gè)樣品,，讓您的效率一高再高。您只需要將樣品放入工作臺(tái),，再啟動(dòng)掃描程序便可,。該功能也可以讓您在相同的環(huán)境條件下掃描樣品,，從而提高數(shù)據(jù)的精確性和穩(wěn)定性,。

與大多數(shù)的原子力顯微鏡不同,，Park XE15可掃描最大尺寸為200 mm x 200 mm的樣品,。這樣既滿足了研究員對(duì)掃描大樣品的需求,，也讓故障分析工程師能夠掃描硅片,。

Park XE15配有絕大多數(shù)的掃描模式,，可掃描各種尺寸的樣品。得益于此,，Park XE15是共用實(shí)驗(yàn)室的最佳配置,，能夠滿足每個(gè)人的需求。

Park XE15 原子力顯微鏡
· 一次性自動(dòng)多樣品成像
· 特別設(shè)計(jì)的多樣品卡盤,，可裝載多達(dá)16個(gè)樣品
· 全機(jī)動(dòng)XY軸樣品臺(tái),，行程范圍達(dá)150 mm x 150 mm
借助電動(dòng)樣品臺(tái)，MultiSample™掃描模式能夠允許用戶自行編程,，借助自動(dòng)化步進(jìn)掃描,，實(shí)現(xiàn)多區(qū)域成像,。
流程如下：
1.記錄用戶定義的多個(gè)掃描位置
2.在第一個(gè)掃描位置成像
3.提升懸臂
4.將電動(dòng)樣品臺(tái)移至下一個(gè)用戶定義坐標(biāo)
5.探針接近
6.重復(fù)掃描
記錄多個(gè)掃描位置十分簡(jiǎn)單,，您可以輸入樣品-樣品臺(tái)坐標(biāo)或使用兩個(gè)參考點(diǎn)校正樣品位置,。該自動(dòng)化功能大大減少您在掃描過程中需要的工作,，極大提高了生產(chǎn)力,。

Park Systems的*串?dāng)_消除(XE)掃描系統(tǒng)能夠有效解決上述問題,。我們使用了二維柔性平臺(tái)專門掃描樣品的XY軸位置,，并通過壓電疊堆傳動(dòng)裝置專門掃描探針懸臂的Z軸位置,。用于XY軸掃描的柔性平臺(tái)采用了固體鋁材,，其具有超高的正交性和出色的平面外運(yùn)動(dòng)軌跡,。柔性平臺(tái)可在XY軸掃描大型樣品（1 kg左右）,，頻率最高達(dá)100 Hz左右,。由于XY軸的帶寬要求遠(yuǎn)低于Z軸的帶寬要求，因此該掃描速度已然足夠,。用于Z軸掃描的壓電疊堆傳動(dòng)裝置具有大的推拉力和高共振頻率（約10 kHz）,。

圖9展示了XE系統(tǒng)(a)和傳統(tǒng)原子力顯微鏡(b)掃描硅片時(shí)，未處理的成像圖,。由于硅片屬于原子級(jí)光滑材料,，因此圖像中的彎曲大多數(shù)是掃描器所引起的。圖9(c)展示了圖9中(a)(b)圖像的橫截面,。由于管式掃描器本身帶有背景曲率,，因此當(dāng)X軸的位置移動(dòng)15 μm時(shí)，平面外移動(dòng)最大可達(dá)80 nm,。而在相同的掃描范圍內(nèi),，XE掃描系統(tǒng)的平面外移動(dòng)則不超過1 nm。XE掃描系統(tǒng)的另一大優(yōu)勢(shì)是Z軸伺服回應(yīng),。圖10是XE掃描系統(tǒng)在無接觸模式下拍下的一個(gè)多孔聚合物球體（二乙烯苯）的圖像,，其直徑大約為5 µm。由于XE掃描系統(tǒng)的Z軸伺服回應(yīng)極其精準(zhǔn),，探針可以精確地沿著聚合物球體上的大曲率以及小孔平面結(jié)構(gòu)移動(dòng),，而不會(huì)壓碎或粘連在其表面上。圖11是Z軸伺服回應(yīng)在平坦背景上高性能的表現(xiàn),。

在True Non-Contact™模式中,，探針尖頭與樣品的距離在相互原子力的控制下,，被成功地控制在幾納米之間,。探針尖頭振動(dòng)幅度下，大大減少了探針與樣品的接觸，從而完好地保護(hù)了探針和樣品,。

原子力顯微鏡探針的尖頭十分脆弱，這使得它在接觸樣品后會(huì)快速變鈍,，從而限制原子力顯微鏡的分辨率和圖像的質(zhì)量。對(duì)于材質(zhì)較軟的樣品,，探針會(huì)破壞樣品,，導(dǎo)致其高度測(cè)量不準(zhǔn)確,。相應(yīng)地,，探針保持完整性意味著顯微鏡可以持續(xù)提供高分辨率的精確數(shù)據(jù)。XE系列原子力顯微鏡的真正非接觸模式能夠極大程度保護(hù)探針,，從而延長(zhǎng)其壽命,，并減少對(duì)于樣品的破壞。下圖中以1:1的長(zhǎng)寬比展示了XE系列原子力顯微鏡掃描淺溝道隔離樣品的未處理圖像,，該樣品的深度由掃描電子顯微鏡(SEM)確定,。在成像20次之后，探針幾乎有沒任何磨損,。