掃描儀的最大掃描速度提高到2,000mm/s,，縮短了檢查時(shí)間
測(cè)定晶圓等大樣品時(shí),，掃描儀的掃描速度對(duì)測(cè)定時(shí)間的影響很大。 FineSAT Ⅴ除了采用高速掃描儀,，還將超聲波脈沖的發(fā)生周期降低到1/2,，這樣，測(cè)定時(shí)間縮短了25%*2,。 除了加減速時(shí),，掃描儀的最大掃描速度提高到2,000mm/s*3，通過(guò)新設(shè)計(jì)的高剛性框架抑制裝置的振動(dòng),，所以高速掃描也能獲得鮮明的圖像,。
考慮了設(shè)置場(chǎng)所、作業(yè)性的裝備
考慮在潔凈室內(nèi)的使用的情況,，掃描儀的門(mén)采用上彈方式,，同時(shí)，作為門(mén)的選購(gòu)件,，還準(zhǔn)備了防靜電型透明板,，提高了防塵性。
為了設(shè)置樣品,、維護(hù)設(shè)備時(shí)可順暢拆裝臺(tái)面,、框架,，前面的下部窗口可向下180°全開(kāi)。
本體操作部位采用防靜電板,，抑制操作員靜電的影響,。
本體電源ON就可進(jìn)行升降機(jī)的升降操作。不用啟動(dòng)FineSAT軟件就可動(dòng)作,。
標(biāo)準(zhǔn)裝備便攜控制器,。 以往，移動(dòng)掃描儀內(nèi)的探頭時(shí),，要用鼠標(biāo)或鍵盤(pán)操作顯示器畫(huà)面內(nèi)的按鈕,，來(lái)回移動(dòng)視線(xiàn)，查看,、操作探頭和監(jiān)視器或鍵盤(pán),。 如果使用便攜控制器，不用離開(kāi)視線(xiàn),，就可對(duì)探頭位置進(jìn)行微調(diào)整,。
配備23英寸顯示器，大幅提高數(shù)據(jù)解析等的視認(rèn)性,、作業(yè)性,。
可選擇雙顯示器。
*1GUIPC為選購(gòu)件的情況,。
*2與本公司以往機(jī)型相比,，因條件而有所不同。
*3因測(cè)定條件不同,，最大掃描速度可能受到限制,。
采用的64bit處理系統(tǒng)，大幅強(qiáng)化解析功能,。
■ 高分辨率波形顯示
能將超聲波的測(cè)定時(shí)間單位設(shè)定為以往的1/4,，所以深度方向的分辨率提高到了4倍。 不斷細(xì)微化,、多層化的電子裝置的薄層內(nèi)的缺陷,、層間剝離的檢測(cè)、深度位置信息的精度提高,。
■ 多焦點(diǎn)
通過(guò)掃描時(shí)連續(xù)改變焦點(diǎn)位置的功能,，1次測(cè)定就可獲得對(duì)焦不同的多個(gè)深度的圖像，所以能防止漏看缺陷,。
■ 多閘門(mén)縮略圖顯示
對(duì)于通過(guò)多閘門(mén)測(cè)定的多個(gè)不同信息的圖像,，可生成縮略圖，轉(zhuǎn)換為容易選擇的一覽顯示?？s略圖圖像可單獨(dú)變更調(diào)色板,。
■ 覆蓋物顯示(反射圖像/透射圖像重疊)
可重疊顯示通過(guò)反射法/透射法同時(shí)測(cè)定取得的2個(gè)圖像。另外,，對(duì)于顯示的圖像,，可調(diào)整透明度，所以可設(shè)定為容易判斷的圖像,。
■ 作為選購(gòu)件,，準(zhǔn)備了圖像銳化、體積圖像,、孔隙瀏覽器等軟件
可與圖像銳化軟件（對(duì)超聲波信號(hào)劣化進(jìn)行補(bǔ)正,，使圖像更加鮮明）,、體積圖像軟件（在測(cè)定后將收集的波形數(shù)據(jù)解析為測(cè)定圖像和波形）,、孔隙瀏覽器軟件（顯示孔隙(缺陷)后進(jìn)行合格與否判定、統(tǒng)計(jì)處理）等高度的解析軟件組合,。
■ 追隨掃描功能
這種掃描方式可適于與不平整的彎曲晶圓,、扭曲的被檢體。
掃描時(shí)可追隨被檢體的表面,。
規(guī)格：
| | FSP8Ⅴ | FSP12Ⅴ |
|---|
| 探頭頻率（MHz） | 5～200 | 5～300 |
|---|
| 最高頻率（MHz） | 500 |
|---|
| 有效行程（X×Y×Z）?。╩m） | 350×350×80 |
|---|
| 最大掃描速度（mm/s） | 2,000 |
|---|
| 最多測(cè)定點(diǎn)數(shù)（點(diǎn)） | 標(biāo)準(zhǔn)：4億
GUIPC選購(gòu)件時(shí)：20億 |
|---|
| 外形尺寸（W×H×D） （mm） | 1,590×1,300×940（門(mén)關(guān)閉狀態(tài)） |
|---|
| 質(zhì)量（kg） | 約470 |
|---|
| 電源（電壓/電流/頻率） | AC100V/15A/ 50/60Hz |
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*特殊規(guī)格請(qǐng)咨詢(xún),。還備有英語(yǔ)版軟件,。
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