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產(chǎn)品型號

品牌Bruker/布魯克

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地上海市

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更新時間：2023-05-22 10:08:02瀏覽次數(shù)：535次

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薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備

產(chǎn)品品牌：Frontier Semiconductor

產(chǎn)品型號：FSM 128

產(chǎn)品描述：FSM128系列設(shè)備,，裝備有光學(xué)掃描系統(tǒng)。

薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備簡介

FSM推出基于商業(yè)化應(yīng)用的激光掃描光學(xué)杠桿（Optilever）技術(shù),，主要應(yīng)用于薄膜應(yīng)力和晶圓彎曲測量,。該設(shè)備頻繁使用在分析解決諸如薄膜裂紋,，分層,，突起和空隙是如何形成的問題,。FSM128系列設(shè)備，適合在半導(dǎo)體,，三-五族,，太陽能，微機電,，數(shù)據(jù)存儲和液晶面板行業(yè)的下一代器件的研發(fā)和生產(chǎn)中使用,。

快速&非接觸激光掃描

3-D 視圖 &輪廓圖

可在室溫&高溫環(huán)境下測量

適用晶圓尺寸 50-300mm(如有其它尺寸測量需求可定制)
可使用機械手臂搬送晶圓

主要設(shè)計特性:
·  多用途
FSM 128 NT 可以兼容測量50-200mm尺寸晶圓，而無需更換晶圓樣品載片臺,。FSM 128系列其它型號主要針對其它尺寸樣品設(shè)計,。(例如：FSM128L可以測量大到300mm尺寸的晶圓樣品，而FSM 128G則專門設(shè)計來測量尺寸大到650 x 550mm的面板樣品)
·  樣品容易放置和回收
設(shè)計的可自動伸縮開關(guān)門機構(gòu),，方便從樣品載片臺上放置和回收晶圓樣品,，使多片晶圓測量變得輕而易舉。
·  自動切換雙波段激光
FSM128系列具有的自動激光切換掃描技術(shù).當(dāng)樣品反射率不好時,，系統(tǒng)會自動切換到不同波長的另外一只激光進行掃描,。這使客戶可以測量包括Nitride，Polyimides, Low K,，High K,金屬等幾乎所
有的薄膜而不會遇到無法測量的問題,。
·  2-D & 3-D Map
FSM128配備有馬達驅(qū)動的可旋轉(zhuǎn)載片臺，可以快速生成2-D&3D Map圖幫助用戶可以看到整片晶圓的曲率和應(yīng)力變化分布,，并準(zhǔn)確反映出工藝和均勻性有問題的區(qū)域,。
·  薄膜厚度
FSM128可以整合介電材料薄膜的厚度測量功能，使設(shè)備變成一臺可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境下靈活使用強大的桌面型設(shè)備,。