關(guān)鍵索引詞：

 MEMS 微機(jī)電系統(tǒng)

 MEMS傳感器

 MEMS 光學(xué)掃描儀

 微機(jī)械陀螺儀

 MEMS簡介：

    微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng),、微機(jī)械等,，是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻,、腐蝕,、薄膜、LIGA,、硅微加工,、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。

微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器,、微執(zhí)行器,、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源,、信號處理和控制電路,、高性能電子集成器件、接口,、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng),。MEMS是一項(xiàng)革命性的新技術(shù)，廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),，是一項(xiàng)關(guān)系到國家的科技發(fā)展,、經(jīng)濟(jì)繁榮和國防安全的關(guān)鍵技術(shù)。

MEMS側(cè)重于超精密機(jī)械加工,，涉及微電子,、材料、力學(xué),、化學(xué),、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力,、電,、光、磁,、聲,、表面等物理、化學(xué),、機(jī)械學(xué)的各分支,。

MEMS是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng)，可大批量生產(chǎn),，其系統(tǒng)尺寸在幾毫米乃至更小,，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級。常見的產(chǎn)品包括MEMS加速度計(jì),、MEMS麥克風(fēng),、微馬達(dá),、微泵、微振子,、MEMS光學(xué)傳感器,、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀,、MEMS濕度傳感器,、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。

MEMS光柵應(yīng)用測試：

    MEMS光柵采用了硅微加工工藝技術(shù),，在外力作用下使光柵的某些特征參數(shù)（如周期,、光柵等常數(shù)）發(fā)生改變，從而實(shí)時(shí)改變光柵的工作性能,，實(shí)現(xiàn)光柵的可編程應(yīng)用,。基于其*的優(yōu)勢,，MEMS光柵已經(jīng)用于光通信,、高清顯示設(shè)備、光譜分析等領(lǐng)域,。MEMS光柵具有多種驅(qū)動(dòng)方式,，而靜電驅(qū)動(dòng)的 MEMS光柵,， 由于其工藝易于實(shí)現(xiàn),、耗能低、頻率響應(yīng)高,，因此是常用的驅(qū)動(dòng)方式,。的光柵光閥（GLV）和氣體探測器（Polychromix） 都是采用靜電驅(qū)動(dòng)的。 靜電驅(qū)動(dòng)的可編程光柵還存在某些不足,。靜電驅(qū)動(dòng)的能量密度較小,，當(dāng)結(jié)構(gòu)需要比較大的工作 位移（微米級），就必須增大驅(qū)動(dòng)電壓,，驅(qū)動(dòng)電壓甚 至達(dá)到上百伏,。當(dāng)結(jié)構(gòu)受靜電力作用，由于機(jī)械結(jié)構(gòu)*的慣性而產(chǎn)生彈性振蕩,，增大系統(tǒng)延遲,。實(shí)際工作時(shí)，光柵等效電容會(huì)隨光柵梁位移的改變而變化,，導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)電路容性負(fù)載的變化,。這些都為設(shè)計(jì)驅(qū)動(dòng)電路帶來困難。 因此,，MEMS光柵的工作性能很大程度上依賴于驅(qū)動(dòng)放大器的性能,。

MEMS測試功率放大器：

西安安泰電子科技有限公司生產(chǎn)的ATA-2000系列高壓放大器提供了DC-1.5MHz的帶寬,，170Vpp~1600Vpp的輸出電壓范圍，40mA~500mA的電流輸出能力,，是新型的MEMS相關(guān)應(yīng)用的動(dòng)態(tài)驅(qū)動(dòng)研發(fā)測試的理想選擇,。

    ATA-2000系列功率放大器，可以輸出理想的單端及差分信號,，為MEMS領(lǐng)域的研究提供了快捷的工具,。同時(shí)該系列功率放大器，設(shè)計(jì)了良好的過壓,，過流,，短路保護(hù)裝置，同時(shí)為了更好的為MEMS測試客戶應(yīng)用,，提供的完善的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò),，方便用戶選擇對應(yīng)的匹配阻抗。 

  ATA-2000系列功率放大器的增益數(shù)控可調(diào),，通過0.1的步進(jìn)對于信號進(jìn)行放大,，方便用戶調(diào)試。同時(shí)具有100:1的信號監(jiān)控口,，方便用戶實(shí)時(shí)觀測輸出波形的變化,。采用液晶顯示，操作簡單易懂,。