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壓電陶瓷致動器中--電壓放大器的應(yīng)用:
隨著精密工程和微細工程的迅速發(fā)展, 亞μm 和nm 級定位技術(shù)和微動伺服技術(shù)已成為微機電系統(tǒng)(MEMS),、超精密加工,、微電子、光電子和生物工程等前沿學(xué)科的關(guān)鍵技術(shù),。
壓電陶瓷驅(qū)動系統(tǒng)作為理想的nm 微位移元件, 具有體積小,、位移分辨率高、頻響高,、承載力大,、無噪聲、不發(fā)熱等特點, 得到了廣泛應(yīng)用,。但是由于壓電陶瓷的遲滯,、蠕變等效應(yīng), 給壓電陶瓷的控制帶來了困難。而驅(qū)動放大器則是引起遲滯和蠕變現(xiàn)象主要的原因之一,。因此,,壓電陶瓷驅(qū)動放大器已成為目前壓電陶瓷致動器應(yīng)用中的關(guān)鍵技術(shù)之一。
壓電陶瓷致動器
壓電陶瓷致動器一般為堆疊結(jié)構(gòu),。在外電場的作用下,每個壓電陶瓷片相當于1個平行板電容器,。因此,,驅(qū)動放大器的負載壓電陶瓷致動器為容性負載,其電容量通常達幾μF,。當存在外加電場時,,根據(jù)逆壓電效應(yīng), 壓電陶瓷片產(chǎn)生垂直方向和水平方向的變形, 輸出位移,。在已知壓電陶瓷致動器模型的前提下, 通過一定的控制方法和控制算法, 能夠使壓電致動器的動態(tài)響應(yīng)得到較大提高。
西安安泰電子科技有限公司生產(chǎn)的ATA-2000系列高壓放大器提供了DC-2MHz的帶寬,,170Vpp~1600Vpp的輸出電壓范圍,,40mA~500mA的電流輸出能力,是精密位移系統(tǒng)中壓電陶瓷驅(qū)動研發(fā)測試的理想選擇,。
ATA-2000系列電壓放大器,,可以輸出理想的單端及差分信號,為MEMS領(lǐng)域的研究提供了快捷的工具,。同時該系列功率放大器,,設(shè)計了良好的過壓,過流,,短路保護裝置,,同時為了更好的為MEMS測試客戶應(yīng)用,提供的完善的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò),,方便用戶選擇對應(yīng)匹配阻抗,。
ATA-2000系列電壓放大器的增益數(shù)控可調(diào),通過0.1的步進對于信號進行放大,,方便用戶調(diào)試,。同時具有100:1的信號監(jiān)控口,方便用戶實時觀測輸出波形的變化,。采用液晶顯示,,操作簡單易懂.
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