MEMS測(cè)試基臺(tái)  分析測(cè)試樣品制備簡(jiǎn)介

是通過(guò)熱端和冷端在材料中行成溫度梯度，然后高精度測(cè)量樣品中的熱流,、電流和熱電勢(shì),，通過(guò)不同外阻的匹配測(cè)量出材料的最大熱電功率。本設(shè)備是一款高精度多功能的熱電性能測(cè)量設(shè)備,，主要由爐體,、真空系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)組成。

各組成部分簡(jiǎn)介

1,、爐體是由整塊鋁合金材料加工而成,，爐體四面都有通水孔，將傳到爐壁上的熱量帶走,。

2,、真空系統(tǒng)主要由機(jī)械泵、真空閥門(mén),、真空測(cè)量?jī)x等組成,。

3、水冷系統(tǒng)專(zhuān)門(mén)了配置水冷機(jī),，可調(diào)節(jié)冷卻平面的制冷功率,。

MEMS測(cè)試基臺(tái)  分析測(cè)試樣品制備主要技術(shù)參數(shù)

1、熱端溫度：≧1000℃（鉬板表面實(shí)測(cè)）

2,、加熱面積：A加熱板  50*50mm  B加熱板  120*120mm

3,、冷端水冷面積：120mm*120mm

4、真空度：≤0.6Pa

5,、壓力：0-200kg（數(shù)顯）

6,、壓頭行程5-50mm

7,、配置雙直聯(lián)泵，輪換使用,，其中一臺(tái)故障可自動(dòng)切換

8,、配置航空插頭座20針

9、配置一臺(tái)冷水機(jī)（配置三通可以與之前的冷水機(jī)切換混用）

10,、軟件要求加熱有斷水,、超溫、過(guò)流,、開(kāi)門(mén)等互鎖

11,、連續(xù)使用4000小時(shí)以上

12、電源：380V/三相五線/50Hz

13,、額定功率：≤15Kw

14,、冷態(tài)極限真空：≤6.67×10-1Pa

15、保護(hù)氣氛：氬氣

16,、溫控區(qū)數(shù)：1區(qū)

17,、極限真空壓力：10E-1Pa

18、設(shè)備重量：~500Kg

19,、設(shè)備尺寸：1200*1850*2075mm（L*W*H）

主要應(yīng)用領(lǐng)域：材料的熱電效率,、熱電材料的性能、材料的熱導(dǎo)率