電子掃描顯微鏡

技術(shù)參數(shù)：

*1,、光學(xué)系統(tǒng)：無限遠色差校正光學(xué)系統(tǒng)；

2,、放大倍數(shù)：40X—1000X,；

*3、目鏡：大視場高眼點目鏡10X,，

4,、鏡筒組：三目鏡筒，30度傾斜,，光瞳間距50—75mm,，頭部為絞鏈式三目頭；分光比0：100或80：20

5,、電子掃描顯微鏡：粗微動同軸式調(diào)焦且低手位操作, 行程25mm,，微調(diào)精度2um，設(shè)有防下滑裝置及粗調(diào)松緊裝置,，配有調(diào)焦上限位裝置,。電動調(diào)焦裝置

*6、平臺組：電動機械移動平臺,，進口三角導(dǎo)軌,，電動接口，平臺尺寸：190x140mm,，范圍：55X78mm,，雙片夾結(jié)構(gòu)，

*7,、柯拉照明系統(tǒng)： 6V/30W進口燈泡,，超長壽命,；

8、PLAN4X/0.1,，    PLAN10X/0.25,，PLAN20X/0.40(彈簧)， PLAN40X/0.66(彈簧),、        PLAN100X/1.25(彈簧,，油)；

9,、物鏡轉(zhuǎn)換器：內(nèi)傾式五孔滾珠軸承,，帶防霉裝置；

10,、聚光鏡組：升降式阿貝聚光鏡,， NA= 1.25，帶刻度的可變光欄,；

11,、可選配： （1）熒光裝置   （2）相差裝置           （3） 暗場和偏光裝置

12.可選配數(shù)碼攝像系統(tǒng)：

 在掃描電鏡應(yīng)用中，很多集中在半導(dǎo)體器件和集成電路方面,，它可以很詳細地檢查器件工作時局部表面電壓變化的實際情況,，這是因為這種變化會帶來象的反差的變化。焊接開裂和腐蝕表面的細節(jié)或相互關(guān)系可以很容易地觀察到,。利用束感生電流,，可以觀測半導(dǎo)體P—N結(jié)內(nèi)部缺陷。