HLCVD六溫區(qū)真空管式爐有效尺寸直徑50*溫區(qū)200*200*200*200*200*200
長(zhǎng)期使用溫度200-1100℃溫度1200℃溫控30段智能溫控,， 控制 自動(dòng)升溫,，自動(dòng)降溫，
殼體設(shè)計(jì)電爐殼體采用雙層強(qiáng)制風(fēng)冷構(gòu)造,，使電爐在溫度工作時(shí)爐殼外部溫度接近室溫
可通氣體所有惰性氣體 混合性氣體 氮?dú)? 氧氣 水蒸氣等……
升溫速率≤0~ 20.C/ min

HLCVD六溫區(qū)真空管式爐直徑50*溫區(qū)200*200*200*200*200*200長(zhǎng)期使用溫度200-1100℃溫度1200℃溫控30段智能溫控,， 控制 自動(dòng)升溫，自動(dòng)降溫,，殼體設(shè)計(jì)電爐殼體采用雙層強(qiáng)制風(fēng)冷構(gòu)造,，使電爐在溫度工作時(shí)爐殼外部溫度接近室溫可通氣體有惰性氣體 混合性氣體 氮?dú)? 氧氣 水蒸氣等……升溫速率≤0~ 20.C/ min溫控安全電爐采用集成化電路，模塊控制,、雙回路保護(hù)（偏溫保護(hù),、超高溫保護(hù)、斷偶保護(hù),、超流保護(hù)、超壓保護(hù)）控溫度±1℃爐溫均勻性≤±5真空泵機(jī)械泵爐膛材質(zhì)高密度氧化鋁陶瓷纖維爐膛設(shè)計(jì)爐膛采用臺(tái)階式拼裝結(jié)構(gòu),，融合了力學(xué)定律,，有效的保證了爐膛在加熱過程中受力均勻，保障了熱能不易散失,，延長(zhǎng)了爐膛的使用壽命,。CVD六溫區(qū)真空管式爐:平行式可開啟設(shè)計(jì),分六個(gè)溫區(qū)每個(gè)溫區(qū)各200mm  管徑直徑為：50mm。每個(gè)溫區(qū)可單獨(dú)控溫,，加熱原料為進(jìn)口電阻絲爐膛,，容樣品材料為高純度石英管 耐腐蝕性好。長(zhǎng)時(shí)間工作溫度可達(dá)1150℃ 兩端用304不透鋼法蘭1套,，配置機(jī)械泵1臺(tái),，一套四路質(zhì)子流量計(jì)。