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高溫爐安全操作規(guī)程
閱讀:2939 發(fā)布時間:2020-9-14 高溫爐安全操作規(guī)程
一準備工作
1,檢查電源線接觸是否良好2,檢查連接線是否正常3,檢查冷卻水是否正常4,檢查密封性是否正常5, 準備所需工具:無塵紙,、*、帆布手套,、作業(yè)手套,、耐高溫手套、石墨推車,、不銹鋼托盤
二開爐
1,打開主電源開關2, 向爐體充氬氣至大氣壓,,打開爐體前門,取下石墨蓋板3, 將輸送車開關打至 OUT,,依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按鈕,,取出 。石墨坩堝,,依次放置于石墨推車上輸送車開關.4, 清爐 清理爐膛內壁,、石墨件及保溫材料上的污物
三裝料1,將石墨坩堝放置于輸送車平臺上,使用限位桿確定其位置,,依次裝入硅料,。2、拔出限位桿,,輸送車開關打至 IN,,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,將坩堝裝入爐膛內,,并確定輸送車會到初始位置,。3、裝入石墨蓋板,,擰緊石墨螺栓,,關緊爐門
四抽氣
1、檢查爐門是否關緊,,真空系統(tǒng)是否密封2,、置 DP 按鈕于 DP ON,,打開干式真空泵,,打開真空計開關 P1G1,打開干式真空泵 ,。閥門,,開始抽氣測試泄漏率,3,、當壓力表指示為 50Pa是關閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min,,打開氬氣閥門充氬氣(20L/min),。
d. 加熱 先打開水環(huán)泵 再按 RUN,開始工藝加熱,。
5.冷卻
a,、加熱結束后,按工藝條件進行冷卻,;
b,、爐內溫度降低至 200℃以下,壓力達到一個大氣壓后才可打開爐門,,繼續(xù)冷卻,。
c、*冷卻至室溫后,,將輸送車開關打至 OUT,,依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK- DOWN 按鈕,取出石墨坩堝,,取出硅料,,并進行分裝。
d,、清掃爐體后關閉爐門,,將爐體抽成負壓。
e,、清理并妥善放置其它附屬物件,。